वेफर निर्माणमा एसपीसी प्रणालीको गहिरो बुझाइ

1. SPC प्रणालीको अवलोकन

SPC एक विधि हो जसले उत्पादन प्रक्रियाहरू निगरानी र नियन्त्रण गर्न सांख्यिकीय प्रविधिहरू प्रयोग गर्दछ। यसको मुख्य कार्य भनेको वास्तविक-समय डाटा सङ्कलन र विश्लेषण गरेर, इन्जिनियरहरूलाई समयमै समायोजन र निर्णयहरू गर्न मद्दत गरेर उत्पादन प्रक्रियामा विसंगतिहरू पत्ता लगाउनु हो। SPC को लक्ष्य उत्पादन प्रक्रियामा भिन्नता कम गर्नु हो, उत्पादनको गुणस्तर स्थिर रहन्छ र विनिर्देशहरू पूरा गर्दछ।

एसपीसी नक्काशी प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ:

महत्वपूर्ण उपकरण प्यारामिटरहरू निगरानी गर्नुहोस् (जस्तै, इच दर, आरएफ पावर, चेम्बर प्रेसर, तापमान, आदि)

प्रमुख उत्पादन गुणस्तर सूचकहरू (जस्तै, लाइनविड्थ, इच गहिराई, किनारा खुरदरापन, आदि) विश्लेषण गर्नुहोस्।

यी प्यारामिटरहरू निगरानी गरेर, इन्जिनियरहरूले उत्पादन प्रक्रियामा उपकरण प्रदर्शन गिरावट वा विचलनलाई संकेत गर्ने प्रवृत्तिहरू पत्ता लगाउन सक्छन्, यसरी स्क्र्याप दरहरू घटाउँछन्।

2. SPC प्रणालीका आधारभूत अवयवहरू

SPC प्रणाली धेरै कुञ्जी मोड्युलहरू मिलेर बनेको छ:

डाटा सङ्कलन मोड्युल: उपकरण र प्रक्रिया प्रवाहहरूबाट वास्तविक-समय डाटा सङ्कलन गर्दछ (जस्तै, FDC, EES प्रणालीहरू मार्फत) र महत्त्वपूर्ण प्यारामिटरहरू र उत्पादन परिणामहरू रेकर्ड गर्दछ।

नियन्त्रण चार्ट मोड्युल: प्रक्रियाको स्थिरता कल्पना गर्न र प्रक्रिया नियन्त्रणमा छ कि छैन भनेर निर्धारण गर्न मद्दत गर्नको लागि तथ्याङ्कीय नियन्त्रण चार्टहरू (जस्तै, X-बार चार्ट, R चार्ट, Cp/Cpk चार्ट) प्रयोग गर्दछ।

अलार्म प्रणाली: महत्वपूर्ण मापदण्डहरूले नियन्त्रण सीमा नाघ्दा वा प्रवृति परिवर्तनहरू देखाउँदा, इन्जिनियरहरूलाई कारबाही गर्न प्रेरित गर्दा अलार्म ट्रिगर गर्दछ।

विश्लेषण र रिपोर्टिङ मोड्युल: SPC चार्टहरूमा आधारित विसंगतिहरूको मूल कारणको विश्लेषण गर्दछ र नियमित रूपमा प्रक्रिया र उपकरणहरूको लागि प्रदर्शन रिपोर्टहरू उत्पन्न गर्दछ।

3. SPC मा नियन्त्रण चार्टहरूको विस्तृत व्याख्या

नियन्त्रण चार्टहरू SPC मा सबैभन्दा धेरै प्रयोग हुने उपकरणहरू मध्ये एक हो, जसले "सामान्य भिन्नता" (प्राकृतिक प्रक्रिया भिन्नताहरूको कारणले गर्दा) र "असामान्य भिन्नता" (उपकरण असफलता वा प्रक्रिया विचलनको कारण) बीच भेद गर्न मद्दत गर्दछ। सामान्य नियन्त्रण चार्टहरू समावेश छन्:

एक्स-बार र आर चार्टहरू: यदि प्रक्रिया स्थिर छ भने अवलोकन गर्न उत्पादन ब्याचहरू भित्रको औसत र दायरा निगरानी गर्न प्रयोग गरिन्छ।

Cp र Cpk सूचकहरू: प्रक्रिया क्षमता मापन गर्न प्रयोग गरिन्छ, अर्थात्, प्रक्रिया आउटपुट लगातार विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ। Cp ले सम्भावित क्षमता नाप्छ, जबकि Cpk ले विनिर्देश सीमाबाट प्रक्रिया केन्द्रको विचलनलाई विचार गर्छ।

उदाहरणका लागि, नक्काशी प्रक्रियामा, तपाईंले इच रेट र सतहको खुर्दापन जस्ता प्यारामिटरहरू निगरानी गर्न सक्नुहुन्छ। यदि उपकरणको एक निश्चित टुक्राको ईच दरले नियन्त्रण सीमा नाघ्यो भने, तपाइँ नियन्त्रण चार्टहरू प्रयोग गर्न सक्नुहुन्छ कि यो प्राकृतिक भिन्नता हो वा उपकरण खराबीको संकेत हो।

4. Etching उपकरणमा SPC को आवेदन

नक्काशी प्रक्रियामा, उपकरण प्यारामिटरहरू नियन्त्रण गर्न महत्त्वपूर्ण छ, र SPC ले निम्न तरिकाहरूमा प्रक्रिया स्थिरता सुधार गर्न मद्दत गर्दछ:

उपकरण अवस्था अनुगमन: FDC जस्ता प्रणालीहरूले एचिङ उपकरणको मुख्य प्यारामिटरहरू (जस्तै, RF पावर, ग्यास प्रवाह) मा वास्तविक-समय डेटा सङ्कलन गर्दछ र सम्भावित उपकरण समस्याहरू पत्ता लगाउन SPC नियन्त्रण चार्टहरूसँग यो डेटा संयोजन गर्दछ। उदाहरणका लागि, यदि तपाईंले नियन्त्रण चार्टमा RF पावर सेट मानबाट बिस्तारै विचलित भएको देख्नुभयो भने, तपाईंले उत्पादनको गुणस्तरलाई असर गर्नबाट बच्न समायोजन वा मर्मतका लागि प्रारम्भिक कार्य गर्न सक्नुहुन्छ।

उत्पादन गुणस्तर अनुगमन: तपाईले प्रमुख उत्पादन गुणस्तर मापदण्डहरू (जस्तै, ईच गहिराई, लाइनविथ) SPC प्रणालीमा तिनीहरूको स्थिरता अनुगमन गर्न इनपुट गर्न सक्नुहुन्छ। यदि केहि महत्वपूर्ण उत्पादन सूचकहरू बिस्तारै लक्ष्य मानहरूबाट विचलित हुन्छन् भने, SPC प्रणालीले एक अलार्म जारी गर्नेछ, संकेत गर्दछ कि प्रक्रिया समायोजन आवश्यक छ।

निवारक मर्मतसम्भार (PM): SPC ले उपकरणहरूको लागि रोकथाम मर्मत चक्रलाई अनुकूलन गर्न मद्दत गर्न सक्छ। उपकरण प्रदर्शन र प्रक्रिया परिणामहरूमा लामो-समय डेटा विश्लेषण गरेर, तपाईं उपकरण मर्मतका लागि इष्टतम समय निर्धारण गर्न सक्नुहुन्छ। उदाहरणका लागि, RF पावर र ESC जीवनकालको अनुगमन गरेर, तपाईंले सफाई वा कम्पोनेन्ट प्रतिस्थापन आवश्यक पर्दा, उपकरणको विफलता दर र उत्पादन डाउनटाइम घटाउन सक्नुहुन्छ।

5. SPC प्रणालीको लागि दैनिक उपयोग सुझावहरू

दैनिक कार्यहरूमा SPC प्रणाली प्रयोग गर्दा, निम्न चरणहरू पछ्याउन सकिन्छ:

कुञ्जी नियन्त्रण प्यारामिटरहरू (KPI) परिभाषित गर्नुहोस्: उत्पादन प्रक्रियामा सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण प्यारामिटरहरू पहिचान गर्नुहोस् र तिनीहरूलाई SPC अनुगमनमा समावेश गर्नुहोस्। यी प्यारामिटरहरू उत्पादनको गुणस्तर र उपकरण प्रदर्शनसँग नजिकबाट सम्बन्धित हुनुपर्छ।

नियन्त्रण सीमा र अलार्म सीमाहरू सेट गर्नुहोस्: ऐतिहासिक डेटा र प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा, प्रत्येक प्यारामिटरको लागि उचित नियन्त्रण सीमा र अलार्म सीमाहरू सेट गर्नुहोस्। नियन्त्रण सीमाहरू सामान्यतया ±3σ (मानक विचलन) मा सेट गरिन्छ, जबकि अलार्म सीमाहरू प्रक्रिया र उपकरणको विशिष्ट अवस्थाहरूमा आधारित हुन्छन्।

निरन्तर निगरानी र विश्लेषण: डेटा प्रवृत्ति र भिन्नताहरू विश्लेषण गर्न नियमित रूपमा SPC नियन्त्रण चार्टहरूको समीक्षा गर्नुहोस्। यदि केही प्यारामिटरहरूले नियन्त्रण सीमा नाघ्यो भने, तत्काल कारबाही आवश्यक छ, जस्तै उपकरण मापदण्डहरू समायोजन वा उपकरण मर्मत प्रदर्शन।

असामान्यता ह्यान्डलिंग र मूल कारण विश्लेषण: जब असामान्यता हुन्छ, SPC प्रणालीले घटनाको बारेमा विस्तृत जानकारी रेकर्ड गर्दछ। तपाईंले समस्या निवारण र यस जानकारीको आधारमा असामान्यताको मूल कारणको विश्लेषण गर्न आवश्यक छ। यो समस्या उपकरण विफलता, प्रक्रिया विचलन, वा बाह्य वातावरणीय कारकहरूको कारण हो कि भनेर विश्लेषण गर्न FDC प्रणालीहरू, EES प्रणालीहरू, आदिबाट डेटा संयोजन गर्न सम्भव छ।

निरन्तर सुधार: SPC प्रणालीद्वारा रेकर्ड गरिएको ऐतिहासिक तथ्याङ्क प्रयोग गरी प्रक्रियामा रहेका कमजोर पक्षहरू पहिचान गर्नुहोस् र सुधार योजनाहरू प्रस्ताव गर्नुहोस्। उदाहरणका लागि, नक्काशी प्रक्रियामा, उपकरण मर्मत चक्रमा ESC आयु र सफाई विधिहरूको प्रभावको विश्लेषण गर्नुहोस् र उपकरण सञ्चालन प्यारामिटरहरू निरन्तर अनुकूलन गर्नुहोस्।

6. व्यावहारिक आवेदन मामला

व्यावहारिक उदाहरणको रूपमा, मान्नुहोस् कि तपाईं नक्कली उपकरण E-MAX का लागि जिम्मेवार हुनुहुन्छ, र च्याम्बर क्याथोडले समयभन्दा पहिले पहिरिएको अनुभव गरिरहेको छ, जसले D0 (BARC दोष) मानहरूमा वृद्धि भएको छ। SPC प्रणाली मार्फत RF पावर र नक्काशी दर अनुगमन गरेर, तपाईंले यी प्यारामिटरहरू क्रमशः तिनीहरूको सेट मानहरूबाट विचलित हुने प्रवृत्ति देख्नुहुन्छ। SPC अलार्म ट्रिगर भएपछि, तपाईंले FDC प्रणालीबाट डेटा संयोजन गर्नुहुन्छ र चेम्बर भित्रको अस्थिर तापक्रम नियन्त्रणको कारणले समस्या भएको हो भनी निर्धारण गर्नुहुन्छ। त्यसपछि तपाइँ नयाँ सफाई विधिहरू र मर्मत रणनीतिहरू लागू गर्नुहुन्छ, अन्ततः D0 मानलाई 4.3 बाट 2.4 मा घटाएर उत्पादनको गुणस्तरमा सुधार गर्नुहुन्छ।

7. XINKEHUI मा तपाईंले प्राप्त गर्न सक्नुहुन्छ।

XINKEHUI मा, तपाईले सिलिकन वेफर होस् वा SiC वेफर, उत्तम वेफर प्राप्त गर्न सक्नुहुन्छ। हामी परिशुद्धता र कार्यसम्पादनमा ध्यान केन्द्रित गर्दै विभिन्न उद्योगहरूको लागि उच्च-गुणस्तरको वेफरहरू प्रदान गर्नमा विशेषज्ञ छौं।