वेफर निर्माणमा SPC प्रणालीको गहिरो बुझाइ

१. SPC प्रणालीको सिंहावलोकन

SPC भनेको उत्पादन प्रक्रियाहरूको अनुगमन र नियन्त्रण गर्न तथ्याङ्कीय प्रविधिहरू प्रयोग गर्ने एक विधि हो। यसको मुख्य कार्य भनेको वास्तविक-समय डेटा सङ्कलन र विश्लेषण गरेर उत्पादन प्रक्रियामा विसंगतिहरू पत्ता लगाउनु हो, जसले इन्जिनियरहरूलाई समयमै समायोजन र निर्णयहरू गर्न मद्दत गर्दछ। SPC को लक्ष्य भनेको उत्पादन प्रक्रियामा भिन्नता कम गर्नु हो, जसले गर्दा उत्पादनको गुणस्तर स्थिर रहन्छ र विशिष्टताहरू पूरा हुन्छ।

SPC लाई एचिङ प्रक्रियामा निम्न कार्यहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ:

महत्वपूर्ण उपकरण प्यारामिटरहरू (जस्तै, एच रेट, आरएफ पावर, चेम्बरको चाप, तापक्रम, आदि) निगरानी गर्नुहोस्।

प्रमुख उत्पादन गुणस्तर सूचकहरू (जस्तै, लाइनविड्थ, इच गहिराइ, किनारा खस्रोपन, आदि) विश्लेषण गर्नुहोस्।

यी प्यारामिटरहरूको अनुगमन गरेर, इन्जिनियरहरूले उत्पादन प्रक्रियामा उपकरणको कार्यसम्पादनमा गिरावट वा विचलनलाई संकेत गर्ने प्रवृत्तिहरू पत्ता लगाउन सक्छन्, जसले गर्दा स्क्र्याप दरहरू घट्छन्।

२. SPC प्रणालीका आधारभूत घटकहरू

SPC प्रणाली धेरै प्रमुख मोड्युलहरू मिलेर बनेको छ:

डेटा सङ्कलन मोड्युल: उपकरण र प्रक्रिया प्रवाहहरू (जस्तै, FDC, EES प्रणालीहरू मार्फत) बाट वास्तविक-समय डेटा सङ्कलन गर्दछ र महत्त्वपूर्ण प्यारामिटरहरू र उत्पादन परिणामहरू रेकर्ड गर्दछ।

नियन्त्रण चार्ट मोड्युल: प्रक्रिया स्थिरता कल्पना गर्न र प्रक्रिया नियन्त्रणमा छ कि छैन भनेर निर्धारण गर्न तथ्याङ्कीय नियन्त्रण चार्टहरू (जस्तै, X-बार चार्ट, R चार्ट, Cp/Cpk चार्ट) प्रयोग गर्दछ।

अलार्म प्रणाली: महत्वपूर्ण प्यारामिटरहरूले नियन्त्रण सीमा नाघ्दा वा प्रवृत्ति परिवर्तनहरू देखाउँदा अलार्म ट्रिगर गर्छ, जसले गर्दा इन्जिनियरहरूलाई कारबाही गर्न प्रेरित गर्छ।

विश्लेषण र रिपोर्टिङ मोड्युल: SPC चार्टको आधारमा विसंगतिहरूको मूल कारणको विश्लेषण गर्दछ र नियमित रूपमा प्रक्रिया र उपकरणहरूको लागि कार्यसम्पादन रिपोर्टहरू उत्पन्न गर्दछ।

SPC मा नियन्त्रण चार्टहरूको विस्तृत व्याख्या

नियन्त्रण चार्टहरू SPC मा सबैभन्दा धेरै प्रयोग हुने उपकरणहरू मध्ये एक हो, जसले "सामान्य भिन्नता" (प्राकृतिक प्रक्रिया भिन्नताहरूबाट हुने) र "असामान्य भिन्नता" (उपकरण विफलता वा प्रक्रिया विचलनहरूको कारणले हुने) बीच भिन्नता छुट्याउन मद्दत गर्दछ। सामान्य नियन्त्रण चार्टहरूमा समावेश छन्:

X-बार र R चार्टहरू: प्रक्रिया स्थिर छ कि छैन भनेर अवलोकन गर्न उत्पादन ब्याचहरू भित्रको औसत र दायरा निगरानी गर्न प्रयोग गरिन्छ।

Cp र Cpk सूचकांकहरू: प्रक्रिया क्षमता मापन गर्न प्रयोग गरिन्छ, अर्थात्, प्रक्रिया आउटपुटले विशिष्टीकरण आवश्यकताहरू निरन्तर रूपमा पूरा गर्न सक्छ कि सक्दैन। Cp ले सम्भावित क्षमता मापन गर्दछ, जबकि Cpk ले विशिष्टीकरण सीमाबाट प्रक्रिया केन्द्रको विचलनलाई विचार गर्दछ।

उदाहरणका लागि, एचिङ प्रक्रियामा, तपाईंले एच रेट र सतहको खस्रोपन जस्ता प्यारामिटरहरूको निगरानी गर्न सक्नुहुन्छ। यदि कुनै निश्चित उपकरणको एच रेटले नियन्त्रण सीमा नाघ्यो भने, यो प्राकृतिक भिन्नता हो वा उपकरणको खराबीको संकेत हो भनेर निर्धारण गर्न तपाईं नियन्त्रण चार्टहरू प्रयोग गर्न सक्नुहुन्छ।

४. एचिङ उपकरणमा SPC को प्रयोग

एचिङ प्रक्रियामा, उपकरण प्यारामिटरहरू नियन्त्रण गर्नु महत्त्वपूर्ण छ, र SPC ले निम्न तरिकाले प्रक्रिया स्थिरता सुधार गर्न मद्दत गर्दछ:

उपकरण अवस्था अनुगमन: FDC जस्ता प्रणालीहरूले एचिङ उपकरणका प्रमुख प्यारामिटरहरू (जस्तै, RF पावर, ग्यास प्रवाह) मा वास्तविक-समय डेटा सङ्कलन गर्छन् र सम्भावित उपकरण समस्याहरू पत्ता लगाउन यो डेटालाई SPC नियन्त्रण चार्टहरूसँग संयोजन गर्छन्। उदाहरणका लागि, यदि तपाईंले नियन्त्रण चार्टमा RF पावर बिस्तारै सेट मानबाट विचलित भइरहेको देख्नुभयो भने, उत्पादनको गुणस्तरमा असर पर्नबाट बच्न समायोजन वा मर्मतसम्भारको लागि प्रारम्भिक कारबाही गर्न सक्नुहुन्छ।

उत्पादन गुणस्तर अनुगमन: तपाईंले SPC प्रणालीमा प्रमुख उत्पादन गुणस्तर प्यारामिटरहरू (जस्तै, इच डेप्थ, लाइनविड्थ) पनि इनपुट गर्न सक्नुहुन्छ ताकि तिनीहरूको स्थिरता निगरानी गर्न सकियोस्। यदि केही महत्वपूर्ण उत्पादन सूचकहरू बिस्तारै लक्षित मानहरूबाट विचलित भएमा, SPC प्रणालीले प्रक्रिया समायोजन आवश्यक छ भनी संकेत गर्दै अलार्म जारी गर्नेछ।

निवारक मर्मतसम्भार (PM): SPC ले उपकरणको लागि निवारक मर्मतसम्भार चक्रलाई अनुकूलन गर्न मद्दत गर्न सक्छ। उपकरणको कार्यसम्पादन र प्रक्रिया परिणामहरूमा दीर्घकालीन डेटा विश्लेषण गरेर, तपाईं उपकरण मर्मतसम्भारको लागि इष्टतम समय निर्धारण गर्न सक्नुहुन्छ। उदाहरणका लागि, RF पावर र ESC आयु निगरानी गरेर, तपाईं कहिले सफाई वा कम्पोनेन्ट प्रतिस्थापन आवश्यक छ भनेर निर्धारण गर्न सक्नुहुन्छ, उपकरण विफलता दर र उत्पादन डाउनटाइम घटाउँदै।

५. SPC प्रणालीको लागि दैनिक प्रयोग सुझावहरू

दैनिक कार्यहरूमा SPC प्रणाली प्रयोग गर्दा, निम्न चरणहरू पालना गर्न सकिन्छ:

प्रमुख नियन्त्रण प्यारामिटरहरू (KPI) परिभाषित गर्नुहोस्: उत्पादन प्रक्रियामा सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण प्यारामिटरहरू पहिचान गर्नुहोस् र तिनीहरूलाई SPC अनुगमनमा समावेश गर्नुहोस्। यी प्यारामिटरहरू उत्पादनको गुणस्तर र उपकरणको प्रदर्शनसँग नजिकबाट सम्बन्धित हुनुपर्छ।

नियन्त्रण सीमा र अलार्म सीमाहरू सेट गर्नुहोस्: ऐतिहासिक डेटा र प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा, प्रत्येक प्यारामिटरको लागि उचित नियन्त्रण सीमा र अलार्म सीमाहरू सेट गर्नुहोस्। नियन्त्रण सीमाहरू सामान्यतया ±3σ (मानक विचलन) मा सेट गरिन्छ, जबकि अलार्म सीमाहरू प्रक्रिया र उपकरणको विशिष्ट अवस्थाहरूमा आधारित हुन्छन्।

निरन्तर अनुगमन र विश्लेषण: डेटा प्रवृत्ति र भिन्नताहरूको विश्लेषण गर्न नियमित रूपमा SPC नियन्त्रण चार्टहरूको समीक्षा गर्नुहोस्। यदि केही प्यारामिटरहरूले नियन्त्रण सीमा नाघे भने, तत्काल कारबाही आवश्यक पर्दछ, जस्तै उपकरण प्यारामिटरहरू समायोजन गर्ने वा उपकरण मर्मत गर्ने।

असामान्यता ह्यान्डलिङ र मूल कारण विश्लेषण: जब असामान्यता हुन्छ, SPC प्रणालीले घटनाको बारेमा विस्तृत जानकारी रेकर्ड गर्दछ। तपाईंले यस जानकारीको आधारमा असामान्यताको मूल कारणको समस्या निवारण र विश्लेषण गर्न आवश्यक छ। उपकरण विफलता, प्रक्रिया विचलन, वा बाह्य वातावरणीय कारकहरूको कारणले समस्या हो कि होइन भनेर विश्लेषण गर्न FDC प्रणालीहरू, EES प्रणालीहरू, आदिबाट डेटा संयोजन गर्न प्रायः सम्भव छ।

निरन्तर सुधार: SPC प्रणालीद्वारा रेकर्ड गरिएको ऐतिहासिक डेटा प्रयोग गरेर, प्रक्रियामा कमजोरीहरू पहिचान गर्नुहोस् र सुधार योजनाहरू प्रस्ताव गर्नुहोस्। उदाहरणका लागि, एचिंग प्रक्रियामा, उपकरण मर्मत चक्रमा ESC आयु र सफाई विधिहरूको प्रभावको विश्लेषण गर्नुहोस् र उपकरण सञ्चालन प्यारामिटरहरूलाई निरन्तर अनुकूलन गर्नुहोस्।

६. व्यावहारिक अनुप्रयोग केस

व्यावहारिक उदाहरणको रूपमा, मानौं तपाईं इचिङ उपकरण E-MAX को लागि जिम्मेवार हुनुहुन्छ, र चेम्बर क्याथोडले समयपूर्व पहिरन अनुभव गरिरहेको छ, जसले गर्दा D0 (BARC दोष) मानहरूमा वृद्धि हुन्छ। SPC प्रणाली मार्फत RF पावर र इच दरको निगरानी गरेर, तपाईंले एउटा प्रवृत्ति देख्नुहुन्छ जहाँ यी प्यारामिटरहरू बिस्तारै तिनीहरूको सेट मानहरूबाट विचलित हुन्छन्। SPC अलार्म ट्रिगर भएपछि, तपाईंले FDC प्रणालीबाट डेटा संयोजन गर्नुहुन्छ र निर्धारण गर्नुहुन्छ कि समस्या चेम्बर भित्र अस्थिर तापक्रम नियन्त्रणको कारणले भएको हो। त्यसपछि तपाईंले नयाँ सफाई विधिहरू र मर्मत रणनीतिहरू लागू गर्नुहुन्छ, अन्ततः D0 मानलाई 4.3 बाट 2.4 मा घटाउनुहुन्छ, जसले गर्दा उत्पादनको गुणस्तरमा सुधार हुन्छ।

७. XINKEHUI मा तपाईंले पाउन सक्नुहुन्छ।

XINKEHUI मा, तपाईंले उत्तम वेफर प्राप्त गर्न सक्नुहुन्छ, चाहे त्यो सिलिकन वेफर होस् वा SiC वेफर। हामी विभिन्न उद्योगहरूको लागि उच्च-गुणस्तरको वेफरहरू प्रदान गर्नमा विशेषज्ञ छौं, परिशुद्धता र कार्यसम्पादनमा ध्यान केन्द्रित गर्दै।