सिलिकन कार्बाइड (SiC), एक प्रकारको फराकिलो ब्यान्ड ग्याप सेमीकन्डक्टर सामग्रीको रूपमा, आधुनिक विज्ञान र प्रविधिको प्रयोगमा बढ्दो महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।सिलिकन कार्बाइडमा उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उच्च विद्युतीय क्षेत्र सहिष्णुता, जानाजानी चालकता र अन्य उत्कृष्ट भौतिक र अप्टिकल गुणहरू छन्, र व्यापक रूपमा अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू र सौर उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ।अधिक कुशल र स्थिर इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको बढ्दो मागको कारण, सिलिकन कार्बाइडको विकास प्रविधिमा निपुणता तातो ठाउँ भएको छ।
त्यसोभए तपाईलाई SiC विकास प्रक्रियाको बारेमा कति थाहा छ?
आज हामी सिलिकन कार्बाइड एकल क्रिस्टलको वृद्धिको लागि तीन मुख्य प्रविधिहरू छलफल गर्नेछौं: भौतिक भाप यातायात (PVT), तरल चरण एपिटेक्सी (LPE), र उच्च तापमान रासायनिक वाष्प निक्षेप (HT-CVD)।
भौतिक भाप स्थानान्तरण विधि (PVT)
भौतिक भाप स्थानान्तरण विधि सबैभन्दा सामान्य रूपमा प्रयोग हुने सिलिकन कार्बाइड वृद्धि प्रक्रियाहरू मध्ये एक हो।एकल क्रिस्टल सिलिकन कार्बाइडको बृद्धि मुख्यतया उच्च तापमान अवस्थाहरूमा sic पाउडरको उदात्तीकरण र बीज क्रिस्टलमा पुन: भण्डारणमा निर्भर हुन्छ।बन्द ग्रेफाइट क्रुसिबलमा, सिलिकन कार्बाइड पाउडर उच्च तापक्रममा तताइन्छ, तापक्रम ढाँचाको नियन्त्रणको माध्यमबाट, सिलिकन कार्बाइड स्टीम बीज क्रिस्टलको सतहमा कन्डेन्स हुन्छ, र बिस्तारै ठूलो आकारको एकल क्रिस्टल बढ्छ।
हामीले हाल प्रदान गर्ने मोनोक्रिस्टलाइन SiC को विशाल बहुमत यस विकासको तरिकामा बनाइएको हो।यो पनि उद्योग मा मुख्यधारा बाटो हो।
तरल चरण एपिटेक्सी (LPE)
सिलिकन कार्बाइड क्रिस्टलहरू तरल चरण एपिटेक्सी द्वारा ठोस-तरल इन्टरफेसमा क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रिया मार्फत तयार गरिन्छ।यस विधिमा, सिलिकन कार्बाइड पाउडर उच्च तापक्रममा सिलिकन-कार्बन घोलमा घोलिन्छ, र त्यसपछि तापक्रम घटाइन्छ ताकि सिलिकन कार्बाइड घोलबाट निस्कन्छ र बीउ क्रिस्टलहरूमा बढ्छ।LPE विधि को मुख्य लाभ कम वृद्धि तापमान मा उच्च गुणस्तर क्रिस्टल प्राप्त गर्न को लागी क्षमता छ, लागत अपेक्षाकृत कम छ, र यो ठूलो मात्रा उत्पादन को लागी उपयुक्त छ।
उच्च तापमान रासायनिक वाष्प निक्षेप (HT-CVD)
उच्च तापक्रममा प्रतिक्रिया कक्षमा सिलिकन र कार्बन युक्त ग्यास प्रवेश गरेर, सिलिकन कार्बाइडको एकल क्रिस्टल तह रासायनिक प्रतिक्रिया मार्फत सीड क्रिस्टलको सतहमा जम्मा हुन्छ।यस विधिको फाइदा यो हो कि ग्यासको प्रवाह दर र प्रतिक्रिया अवस्थाहरू ठीकसँग नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, ताकि उच्च शुद्धता र केही दोषहरूसँग सिलिकन कार्बाइड क्रिस्टल प्राप्त गर्न सकिन्छ।HT-CVD प्रक्रियाले उत्कृष्ट गुणहरू सहित सिलिकन कार्बाइड क्रिस्टलहरू उत्पादन गर्न सक्छ, जुन विशेष गरी उच्च गुणस्तरको सामग्रीहरू आवश्यक पर्ने अनुप्रयोगहरूको लागि मूल्यवान छ।
सिलिकन कार्बाइडको विकास प्रक्रिया यसको प्रयोग र विकासको आधारशिला हो।निरन्तर प्राविधिक आविष्कार र अप्टिमाइजेसन मार्फत, यी तीन विकास विधिहरूले सिलिकन कार्बाइडको महत्त्वपूर्ण स्थिति सुनिश्चित गर्दै, विभिन्न अवसरहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न आ-आफ्नो भूमिका खेल्छन्।अनुसन्धान र प्राविधिक प्रगति को गहिरो संग, सिलिकन कार्बाइड सामाग्री को बृद्धि प्रक्रिया अनुकूलन जारी रहनेछ, र इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरु को प्रदर्शन थप सुधार गरिनेछ।
(सेन्सर)
पोस्ट समय: जुन-23-2024