को फाइदाहरूGlass Via (TGV) मार्फतर TGV मा सिलिकन Via (TSV) प्रक्रियाहरू मार्फत मुख्य रूपमा:
(1) उत्कृष्ट उच्च आवृत्ति बिजुली विशेषताहरु। गिलास सामग्री एक इन्सुलेटर सामग्री हो, डाइलेक्ट्रिक स्थिरता सिलिकन सामग्रीको लगभग 1/3 मात्र हो, र हानि कारक सिलिकन सामग्रीको तुलनामा 2-3 म्याग्निच्युड कम हुन्छ, जसले सब्सट्रेट नोक्सान र परजीवी प्रभावहरूलाई धेरै कम गर्छ। र प्रसारित संकेत को अखण्डता सुनिश्चित गर्दछ;
(२)ठूलो आकार र अल्ट्रा-पातलो गिलास सब्सट्रेटप्राप्त गर्न सजिलो छ। Corning, Asahi र SCHOTT र अन्य गिलास निर्माताहरूले अल्ट्रा-ठूलो आकार (>2m × 2m) र अल्ट्रा-पातलो (<50µm) प्यानल ग्लास र अल्ट्रा-पातलो लचिलो गिलास सामग्रीहरू प्रदान गर्न सक्छन्।
3) कम लागत। ठूला आकारको अल्ट्रा-थिन प्यानल गिलासमा सजिलो पहुँचबाट फाइदा लिनुहोस्, र इन्सुलेट तहहरू जम्मा गर्न आवश्यक पर्दैन, गिलास एडाप्टर प्लेटको उत्पादन लागत सिलिकन-आधारित एडाप्टर प्लेटको 1/8 मात्र हो;
4) सरल प्रक्रिया। सब्सट्रेट सतह र TGV को भित्री पर्खालमा इन्सुलेट तह जम्मा गर्न आवश्यक छैन, र अल्ट्रा-पातलो एडाप्टर प्लेटमा पातलो गर्न आवश्यक छैन;
(5) बलियो मेकानिकल स्थिरता। एडाप्टर प्लेटको मोटाई १००µm भन्दा कम हुँदा पनि, वारपेज अझै सानो हुन्छ;
(६) एप्सको फराकिलो दायरा, वेफर-लेभल प्याकेजिङ्गको क्षेत्रमा लागू गरिएको एउटा उदीयमान अनुदैर्ध्य इन्टरकनेक्ट टेक्नोलोजी हो, वेफर-वेफर बीचको सबैभन्दा छोटो दूरी हासिल गर्न, इन्टरकनेक्टको न्यूनतम पिचले उत्कृष्ट विद्युतको साथ नयाँ प्रविधि मार्ग प्रदान गर्दछ। , थर्मल, मेकानिकल गुणहरू, आरएफ चिपमा, उच्च-अन्त MEMS सेन्सरहरू, उच्च-घनत्व प्रणाली एकीकरण र अद्वितीय फाइदाहरू भएका अन्य क्षेत्रहरू, 5G को अर्को पुस्ता हो, 6G उच्च-फ्रिक्वेन्सी चिप 3D को लागि यो पहिलो विकल्पहरू मध्ये एक हो। अर्को पुस्ताको 5G र 6G उच्च आवृत्ति चिपहरूको 3D प्याकेजिङ।
TGV को मोल्डिङ प्रक्रियामा मुख्यतया स्यान्डब्लास्टिङ, अल्ट्रासोनिक ड्रिलिङ, वेट एचिङ, डीप रिएक्टिभ आयन इचिङ, फोटोसेन्सेटिभ इचिङ, लेजर एचिङ, लेजर इन्ड्युस्ड डेप्थ एचिङ, र फोकसिङ डिस्चार्ज होल बनाइ समावेश छ।
हालको अनुसन्धान र विकास परिणामहरूले देखाउँछ कि प्रविधिले प्वालहरू र 5:1 अन्धा प्वालहरू 20:1 को गहिराइ र चौडाइ अनुपातमा तयार गर्न सक्छ, र राम्रो आकारविज्ञान छ। लेजर प्रेरित गहिरो नक्काशी, जसको परिणाम सानो सतह खुरदना हुन्छ, वर्तमानमा सबैभन्दा अध्ययन गरिएको विधि हो। चित्र १ मा देखाइए अनुसार, सामान्य लेजर ड्रिलिंगको वरिपरि स्पष्ट दरारहरू छन्, जबकि लेजर-प्रेरित गहिरो नक्काशीको वरपर र छेउका पर्खालहरू सफा र चिल्लो हुन्छन्।
को प्रशोधन प्रक्रियाTGVइन्टरपोजर चित्र २ मा देखाइएको छ। समग्र योजना भनेको पहिले गिलासको सब्सट्रेटमा प्वालहरू ड्रिल गर्ने र त्यसपछि छेउको भित्ता र सतहमा बाधा तह र बीज तह जम्मा गर्ने हो। बाधा तहले गिलास सब्सट्रेटमा Cu को प्रसारलाई रोक्छ, जबकि दुईको आसंजन बढाउँदै, अवश्य पनि, केही अध्ययनहरूमा पनि बाधा तह आवश्यक छैन भन्ने फेला पारेको छ। त्यसपछि Cu लाई इलेक्ट्रोप्लेटिंग द्वारा जम्मा गरिन्छ, त्यसपछि एनेल गरिएको हुन्छ, र Cu लेयर CMP द्वारा हटाइन्छ। अन्तमा, RDL rewiring लेयर PVD कोटिंग लिथोग्राफी द्वारा तयार गरिन्छ, र ग्लु हटाए पछि passivation लेयर बनाइन्छ।
(a) वेफरको तयारी, (b) TGV को गठन, (c) डबल-साइड इलेक्ट्रोप्लेटिंग - तामाको जम्मा, (d) एनिलिङ र CMP केमिकल-मेकानिकल पॉलिशिंग, सतहको तामाको तह हटाउने, (e) PVD कोटिंग र लिथोग्राफी , (f) RDL rewiring लेयरको प्लेसमेन्ट, (g) degluing र Cu/ti etching, (h) passivation लेयरको गठन।
संक्षेपमा,ग्लास थ्रु होल (TGV)अनुप्रयोग सम्भावनाहरू फराकिलो छन्, र हालको घरेलु बजार बढ्दो चरणमा छ, उपकरणदेखि उत्पादन डिजाइन र अनुसन्धान र विकास विकास दर विश्वव्यापी औसत भन्दा उच्च छ।
यदि त्यहाँ उल्लङ्घन छ भने, सम्पर्क मेटाउनुहोस्
पोस्ट समय: जुलाई-16-2024