अर्धचालक प्रविधिको निरन्तर विकाससँगै, अर्धचालक उद्योग र फोटोभोल्टिक उद्योगमा पनि, वेफर सब्सट्रेट वा एपिटेक्सियल पानाको सतह गुणस्तरको लागि आवश्यकताहरू पनि धेरै कडा छन्। त्यसोभए, वेफरहरूको लागि गुणस्तर आवश्यकताहरू के हुन्? लिँदैनीलमणि वेफरउदाहरणको लागि, वेफरहरूको सतह गुणस्तर मूल्याङ्कन गर्न कुन सूचकहरू प्रयोग गर्न सकिन्छ?
वेफर्स मूल्याङ्कन सूचकहरू के हुन्?
तीन सूचकहरू
नीलमणि वेफरहरूको लागि, यसको मूल्याङ्कन सूचकहरू कुल मोटाई विचलन (TTV), बन्ड (बो) र वार्प (वार्प) हुन्। यी तीन प्यारामिटरहरूले सिलिकन वेफरको समतलता र मोटाई एकरूपतालाई प्रतिबिम्बित गर्छन्, र वेफरको लहरको डिग्री मापन गर्न सक्छन्। वेफर सतहको गुणस्तर मूल्याङ्कन गर्न कोरुगेशनलाई समतलतासँग जोड्न सकिन्छ।
TTV, BOW, Warp भनेको के हो?
TTV (कुल मोटाई भिन्नता)
TTV भनेको वेफरको अधिकतम र न्यूनतम मोटाई बीचको भिन्नता हो। यो प्यारामिटर वेफर मोटाई एकरूपता मापन गर्न प्रयोग गरिने एक महत्त्वपूर्ण सूचकांक हो। अर्धचालक प्रक्रियामा, वेफरको मोटाई सम्पूर्ण सतहमा धेरै एकरूप हुनुपर्छ। मापन सामान्यतया वेफरमा पाँच स्थानहरूमा गरिन्छ र भिन्नता गणना गरिन्छ। अन्ततः, यो मान वेफरको गुणस्तरको न्याय गर्नको लागि एक महत्त्वपूर्ण आधार हो।
धनुष
अर्धचालक निर्माणमा धनुषले वेफरको मोडलाई बुझाउँछ, जसले अनक्ल्याम्प्ड वेफरको मध्यबिन्दु र सन्दर्भ समतल बीचको दूरी खाली गर्दछ। यो शब्द सम्भवतः कुनै वस्तु झुकेको बेला त्यसको आकारको वर्णनबाट आएको हो, जस्तै धनुषको घुमाउरो आकार। धनुष मान सिलिकन वेफरको केन्द्र र किनारा बीचको विचलन मापन गरेर परिभाषित गरिन्छ। यो मान सामान्यतया माइक्रोमिटर (µm) मा व्यक्त गरिन्छ।
ताना
वार्प वेफरहरूको विश्वव्यापी गुण हो जसले स्वतन्त्र रूपमा अनक्ल्याम्प गरिएको वेफरको बीच र सन्दर्भ समतल बीचको अधिकतम र न्यूनतम दूरी बीचको भिन्नता मापन गर्दछ। सिलिकन वेफरको सतहबाट समतलसम्मको दूरीलाई प्रतिनिधित्व गर्दछ।
TTV, Bow, Warp मा के फरक छ?
TTV ले मोटाईमा हुने परिवर्तनहरूमा ध्यान केन्द्रित गर्दछ र वेफरको झुकाउने वा विकृतिसँग सम्बन्धित छैन।
धनुषले समग्र मोडमा ध्यान केन्द्रित गर्दछ, मुख्यतया केन्द्र बिन्दु र किनाराको मोडलाई विचार गर्दै।
वार्प अधिक व्यापक छ, जसमा सम्पूर्ण वेफर सतहलाई झुकाउने र घुमाउने काम समावेश छ।
यद्यपि यी तीन प्यारामिटरहरू सिलिकन वेफरको आकार र ज्यामितीय गुणहरूसँग सम्बन्धित छन्, तिनीहरू मापन र फरक तरिकाले वर्णन गरिएका छन्, र अर्धचालक प्रक्रिया र वेफर प्रशोधनमा तिनीहरूको प्रभाव पनि फरक छ।
तीन प्यारामिटरहरू जति सानो हुन्छन्, त्यति नै राम्रो हुन्छ, र प्यारामिटर जति ठूलो हुन्छ, अर्धचालक प्रक्रियामा त्यति नै नकारात्मक प्रभाव पर्छ। त्यसकारण, एक अर्धचालक व्यवसायीको रूपमा, हामीले सम्पूर्ण प्रक्रिया प्रक्रियाको लागि वेफर प्रोफाइल प्यारामिटरहरूको महत्त्व बुझ्नुपर्छ, अर्धचालक प्रक्रिया गर्नुपर्छ, विवरणहरूमा ध्यान दिनुपर्छ।
(सेन्सरिङ)
पोस्ट समय: जुन-२४-२०२४