सेमीकन्डक्टर टेक्नोलोजीको निरन्तर विकासको साथ, अर्धचालक उद्योग र फोटोभोल्टिक उद्योगमा पनि, वेफर सब्सट्रेट वा एपिटेक्सियल शीटको सतहको गुणस्तरका लागि आवश्यकताहरू पनि धेरै कडा छन्।त्यसोभए, वेफर्सका लागि गुणस्तर आवश्यकताहरू के हुन्?नीलमणि वेफर्सलाई उदाहरणको रूपमा लिएर, वेफरहरूको सतहको गुणस्तर मूल्याङ्कन गर्न कुन संकेतकहरू प्रयोग गर्न सकिन्छ?
वेफर्स मूल्याङ्कन सूचकहरू के हुन्?
तीन सूचकहरू
नीलमणि वेफर्सका लागि, यसको मूल्याङ्कन सूचकहरू कुल मोटाई विचलन (TTV), बेन्ड (बो) र वार्प (वार्प) हुन्।यी तीन प्यारामिटरहरू सँगसँगै सिलिकन वेफरको समतलता र मोटाई एकरूपतालाई प्रतिबिम्बित गर्दछ, र वेफरको लहरको डिग्री नाप्न सक्छ।वेफर सतहको गुणस्तर मूल्याङ्कन गर्न कोरुगेशनलाई समतलतासँग जोड्न सकिन्छ।
TTV, BOW, Warp के हो?
TTV (कुल मोटाई भिन्नता)
TTV भनेको वेफरको अधिकतम र न्यूनतम मोटाई बीचको भिन्नता हो।यो प्यारामिटर वेफर मोटाई एकरूपता मापन गर्न को लागी एक महत्वपूर्ण सूचकांक हो।अर्धचालक प्रक्रियामा, वेफरको मोटाई सम्पूर्ण सतहमा धेरै समान हुनुपर्छ।मापन सामान्यतया वेफरमा पाँच स्थानहरूमा बनाइन्छ र फरक गणना गरिन्छ।अन्ततः, यो मूल्य वेफर को गुणस्तर न्याय को लागी एक महत्वपूर्ण आधार हो।
ढोग
सेमीकन्डक्टर निर्माणमा बो भन्नाले वेफरको झुण्डलाई जनाउँछ, एउटा अनक्लेम्पेड वेफरको मध्य बिन्दु र सन्दर्भ प्लेन बीचको दूरीलाई मुक्त गर्दै।यो शब्द सम्भवतः कुनै वस्तुको आकारको विवरणबाट आएको हो जब यो झुकेको हुन्छ, जस्तै धनुको घुमाउरो आकार।बो मान सिलिकन वेफरको केन्द्र र किनारा बीचको विचलन मापन गरेर परिभाषित गरिएको छ।यो मान सामान्यतया माइक्रोमिटर (µm) मा व्यक्त गरिन्छ।
ताना
वार्प वेफरहरूको विश्वव्यापी सम्पत्ति हो जसले स्वतन्त्र रूपमा अनक्लेम्प गरिएको वेफर र सन्दर्भ विमानको बीचको अधिकतम र न्यूनतम दूरी बीचको भिन्नता मापन गर्दछ।सिलिकन वेफर को सतह देखि विमान को दूरी को प्रतिनिधित्व गर्दछ।
TTV, Bow, Warp मा के फरक छ?
TTV मोटाईमा परिवर्तनहरूमा केन्द्रित छ र वेफरको झुकाउने वा विकृतिसँग सम्बन्धित छैन।
मुख्यतया केन्द्र बिन्दु र किनाराको झुण्डलाई ध्यानमा राखेर बो समग्र मोडमा केन्द्रित हुन्छ।
वार्प अधिक व्यापक छ, सम्पूर्ण वेफर सतहको झुकाउने र घुमाउने सहित।
यद्यपि यी तीन प्यारामिटरहरू सिलिकन वेफरको आकार र ज्यामितीय गुणहरूसँग सम्बन्धित छन्, तिनीहरू मापन र फरक रूपमा वर्णन गरिएका छन्, र अर्धचालक प्रक्रिया र वेफर प्रशोधनमा तिनीहरूको प्रभाव पनि फरक छ।
तीन प्यारामिटरहरू सानो, राम्रो, र ठूलो प्यारामिटर, सेमीकन्डक्टर प्रक्रियामा ठूलो नकारात्मक प्रभाव।तसर्थ, एक सेमीकन्डक्टर व्यवसायीको रूपमा, हामीले सम्पूर्ण प्रक्रिया प्रक्रियाको लागि वेफर प्रोफाइल प्यारामिटरहरूको महत्त्व महसुस गर्नुपर्छ, अर्धचालक प्रक्रिया गर्नुहोस्, विवरणहरूमा ध्यान दिनुपर्छ।
(सेन्सरिङ)
पोस्ट समय: जुन-24-2024