अन्य सामग्रीबाट बनेका अर्धचालक सिलिकन वेफर वा सब्सट्रेटहरूको जाँच गर्दा, हामी प्रायः प्राविधिक सूचकहरू जस्तै: TTV, BOW, WARP, र सम्भवतः TIR, STIR, LTV, आदिको सामना गर्छौं। यी प्यारामिटरहरूले कुन प्यारामिटरहरू प्रतिनिधित्व गर्छन्?
TTV — कुल मोटाई भिन्नता
धनुष - धनुष
वार्प - वार्प
TIR — कुल संकेतित पठन
STIR — साइटको कुल संकेत गरिएको पठन
LTV — स्थानीय मोटाई भिन्नता
१. कुल मोटाई भिन्नता — TTV
वेफर क्ल्याम्प गरिएको र नजिकको सम्पर्कमा हुँदा सन्दर्भ समतलको सापेक्षमा वेफरको अधिकतम र न्यूनतम मोटाई बीचको भिन्नता। यसलाई सामान्यतया माइक्रोमिटर (μm) मा व्यक्त गरिन्छ, जसलाई प्रायः निम्न रूपमा प्रतिनिधित्व गरिन्छ: ≤15 μm।
२. धनुष - धनुष
वेफर मुक्त (अनक्लेम्प्ड) अवस्थामा हुँदा वेफर सतहको केन्द्र बिन्दुबाट सन्दर्भ समतलसम्मको न्यूनतम र अधिकतम दूरी बीचको विचलन। यसमा अवतल (ऋणात्मक धनुष) र उत्तल (सकारात्मक धनुष) केसहरू दुवै समावेश छन्। यसलाई सामान्यतया माइक्रोमिटर (μm) मा व्यक्त गरिन्छ, जसलाई प्रायः निम्न रूपमा प्रतिनिधित्व गरिन्छ: ≤40 μm।
३. वार्प — वार्प
वेफर सतहबाट सन्दर्भ समतल (सामान्यतया वेफरको पछाडिको सतह) सम्मको न्यूनतम र अधिकतम दूरी बीचको विचलन जब वेफर मुक्त (अनक्लेम्प्ड) अवस्थामा हुन्छ। यसमा अवतल (ऋणात्मक ताना) र उत्तल (सकारात्मक ताना) केसहरू दुवै समावेश छन्। यसलाई सामान्यतया माइक्रोमिटर (μm) मा व्यक्त गरिन्छ, जसलाई प्रायः निम्न रूपमा प्रतिनिधित्व गरिन्छ: ≤30 μm।
४. कुल संकेतित पठन — TIR
जब वेफर क्ल्याम्प गरिएको हुन्छ र नजिकको सम्पर्कमा हुन्छ, गुणस्तर क्षेत्र भित्रका सबै बिन्दुहरूको अवरोधहरूको योगलाई न्यूनतम गर्ने सन्दर्भ विमान प्रयोग गरेर वा वेफर सतहमा निर्दिष्ट स्थानीय क्षेत्र, TIR भनेको वेफर सतहबाट यो सन्दर्भ विमानमा अधिकतम र न्यूनतम दूरीहरू बीचको विचलन हो।
TTV, BOW, WARP, र TIR जस्ता अर्धचालक सामग्री विशिष्टताहरूमा गहिरो विशेषज्ञतामा स्थापित, XKH ले कडा उद्योग मापदण्डहरू अनुरूप सटीक अनुकूलन वेफर प्रशोधन सेवाहरू प्रदान गर्दछ। हामी नीलमणि, सिलिकन कार्बाइड (SiC), सिलिकन वेफर, SOI, र क्वार्ट्ज सहित उच्च-प्रदर्शन सामग्रीहरूको विस्तृत श्रृंखला आपूर्ति र समर्थन गर्छौं, जसले अप्टोइलेक्ट्रोनिक्स, पावर उपकरणहरू, र MEMS मा उन्नत अनुप्रयोगहरूको लागि असाधारण समतलता, मोटाई स्थिरता र सतह गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ। तपाईंको सबैभन्दा माग गर्ने डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्ने भरपर्दो सामग्री समाधान र सटीक मेसिनिंग प्रदान गर्न हामीलाई विश्वास गर्नुहोस्।
पोस्ट समय: अगस्ट-२९-२०२५