Si/SiC र HBM (Al) को लागि १२ इन्च पूर्ण स्वचालित प्रेसिजन डाइसिङ स उपकरण वेफर समर्पित काट्ने प्रणाली
प्राविधिक प्यारामिटरहरू
प्यारामिटर | निर्दिष्टीकरण |
काम गर्ने आकार | Φ८", Φ१२" |
स्पिन्डल | दोहोरो-अक्ष १.२/१.८/२.४/३.०, अधिकतम ६०००० आरपीएम |
ब्लेड साइज | २" ~ ३" |
Y1 / Y2 अक्ष
| एकल-चरण वृद्धि: ०.०००१ मिमी |
स्थिति निर्धारण शुद्धता: < ०.००२ मिमी | |
काट्ने दायरा: ३१० मिमी | |
एक्स अक्ष | फिड गति दायरा: ०.१–६०० मिमी/सेकेन्ड |
Z1 / Z2 अक्ष
| एकल-चरण वृद्धि: ०.०००१ मिमी |
स्थिति निर्धारण शुद्धता: ≤ ०.००१ मिमी | |
θ अक्ष | स्थिति निर्धारण शुद्धता: ±१५" |
सफाई स्टेशन
| घुम्ने गति: १००–३००० आरपीएम |
सफाई विधि: स्वतः कुल्ला र स्पिन-ड्राइ | |
सञ्चालन भोल्टेज | ३-चरण ३८०V ५०Hz |
आयामहरू (W×D×H) | १५५०×१२५५×१८८० मिमी |
तौल | २१०० किलो |
कार्य सिद्धान्त
उपकरणले निम्न प्रविधिहरू मार्फत उच्च-परिशुद्धता काट्ने कार्य प्राप्त गर्दछ:
१. उच्च-कठोरता स्पिन्डल प्रणाली: ६०,००० RPM सम्मको घुमाउने गति, विभिन्न सामग्री गुणहरूमा अनुकूलन गर्न हीरा ब्लेड वा लेजर काट्ने हेडहरूले सुसज्जित।
२. बहु-अक्ष गति नियन्त्रण: ±१μm को X/Y/Z-अक्ष स्थिति सटीकता, विचलन-मुक्त काट्ने मार्गहरू सुनिश्चित गर्न उच्च-परिशुद्धता ग्रेटिंग स्केलहरूसँग जोडिएको।
३. बुद्धिमान दृश्य संरेखण: उच्च-रिजोल्युसन सीसीडी (५ मेगापिक्सेल) ले स्वचालित रूपमा काट्ने सडकहरू पहिचान गर्दछ र सामग्री वार्पिङ वा गलत संरेखणको लागि क्षतिपूर्ति गर्दछ।
४. चिसो पार्ने र धुलो हटाउने: थर्मल प्रभाव र कण प्रदूषण कम गर्न एकीकृत शुद्ध पानी शीतलन प्रणाली र भ्याकुम सक्शन धुलो हटाउने।
काट्ने मोडहरू
१. ब्लेड डाइसिङ: ५०-१००μm को कर्फ चौडाइ भएको Si र GaAs जस्ता परम्परागत अर्धचालक सामग्रीहरूको लागि उपयुक्त।
२.स्टिल्थ लेजर डाइसिङ: अति-पातलो वेफर (<१००μm) वा कमजोर सामग्रीहरू (जस्तै, LT/LN) को लागि प्रयोग गरिन्छ, जसले तनावमुक्त विभाजन सक्षम बनाउँछ।
सामान्य अनुप्रयोगहरू
मिल्दो सामग्री | आवेदन क्षेत्र | प्रशोधन आवश्यकताहरू |
सिलिकन (Si) | आईसी, एमईएमएस सेन्सरहरू | उच्च-परिशुद्धता काट्ने, चिपिङ <10μm |
सिलिकन कार्बाइड (SiC) | पावर उपकरणहरू (MOSFET/डायोडहरू) | कम क्षति हुने काटन, थर्मल व्यवस्थापन अनुकूलन |
ग्यालियम आर्सेनाइड (GaAs) | आरएफ उपकरणहरू, अप्टोइलेक्ट्रोनिक चिप्स | सूक्ष्म-दरार रोकथाम, सरसफाइ नियन्त्रण |
LT/LN सब्सट्रेटहरू | SAW फिल्टरहरू, अप्टिकल मोड्युलेटरहरू | तनावमुक्त काटन, पिजोइलेक्ट्रिक गुणहरू संरक्षण गर्दै |
सिरेमिक सब्सट्रेटहरू | पावर मोड्युलहरू, एलईडी प्याकेजिङ | उच्च-कठोरता सामग्री प्रशोधन, किनारा समतलता |
QFN/DFN फ्रेमहरू | उन्नत प्याकेजिङ | बहु-चिप एकसाथ काट्ने, दक्षता अनुकूलन |
WLCSP वेफर्स | वेफर-स्तरीय प्याकेजिङ | अति-पातलो वेफरहरूको क्षति-रहित डाइसिङ (५०μm) |
फाइदाहरू
१. टक्कर रोकथाम अलार्म, द्रुत स्थानान्तरण स्थिति, र बलियो त्रुटि-सुधार क्षमताको साथ उच्च-गति क्यासेट फ्रेम स्क्यानिङ।
२. एकल-स्पिन्डल प्रणालीहरूको तुलनामा लगभग ८०% ले दक्षता सुधार गर्दै, दोहोरो-स्पिन्डल काट्ने मोडलाई अनुकूलित गरियो।
३. उच्च-परिशुद्धता मेसिनिङको दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित गर्दै, प्रेसिजन-आयातित बल स्क्रू, रेखीय गाइडहरू, र Y-अक्ष ग्रेटिंग स्केल बन्द-लूप नियन्त्रण।
४. पूर्ण रूपमा स्वचालित लोडिङ/अनलोडिङ, ट्रान्सफर पोजिसनिङ, पङ्क्तिबद्धता काट्ने, र कर्फ निरीक्षण, अपरेटर (OP) को कार्यभारलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्दछ।
५. ग्यान्ट्री-शैलीको स्पिन्डल माउन्टिङ संरचना, न्यूनतम २४ मिमीको डुअल-ब्लेड स्पेसिङको साथ, डुअल-स्पिन्डल काट्ने प्रक्रियाहरूको लागि फराकिलो अनुकूलन क्षमता सक्षम पार्दै।
विशेषताहरू
१. उच्च-परिशुद्धता गैर-सम्पर्क उचाइ मापन।
२. एउटै ट्रेमा बहु-वेफर डुअल-ब्लेड काट्ने।
३. स्वचालित क्यालिब्रेसन, कर्फ निरीक्षण, र ब्लेड ब्रेकेज पत्ता लगाउने प्रणालीहरू।
४. चयनयोग्य स्वचालित पङ्क्तिबद्धता एल्गोरिदमहरूको साथ विविध प्रक्रियाहरूलाई समर्थन गर्दछ।
५. गल्ती स्व-सुधार कार्यक्षमता र वास्तविक-समय बहु-स्थिति अनुगमन।
६. प्रारम्भिक डाइसिङ पछि पहिलो-कट निरीक्षण क्षमता।
७. अनुकूलन योग्य कारखाना स्वचालन मोड्युलहरू र अन्य वैकल्पिक कार्यहरू।
उपकरण सेवाहरू
हामी उपकरण छनोटदेखि दीर्घकालीन मर्मतसम्भारसम्म व्यापक सहयोग प्रदान गर्दछौं:
(१) अनुकूलित विकास
· सामग्री गुणहरू (जस्तै, SiC कठोरता, GaAs भंगुरता) मा आधारित ब्लेड/लेजर काट्ने समाधानहरू सिफारिस गर्नुहोस्।
· काट्ने गुणस्तर (चिपिङ, कर्फ चौडाइ, सतहको खस्रोपन, आदि सहित) प्रमाणित गर्न नि:शुल्क नमूना परीक्षण प्रस्ताव गर्नुहोस्।
(२) प्राविधिक तालिम
· आधारभूत तालिम: उपकरण सञ्चालन, प्यारामिटर समायोजन, नियमित मर्मतसम्भार।
· उन्नत पाठ्यक्रमहरू: जटिल सामग्रीहरूको लागि प्रक्रिया अनुकूलन (जस्तै, LT सब्सट्रेटहरूको तनावमुक्त काटन)।
(३) बिक्री पछिको समर्थन
· २४/७ प्रतिक्रिया: टाढाको निदान वा साइटमा सहयोग।
· स्पेयर पार्ट्स आपूर्ति: द्रुत प्रतिस्थापनको लागि स्टक गरिएको स्पिन्डल, ब्लेड र अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू।
· रोकथाम मर्मत: शुद्धता कायम राख्न र सेवा जीवन विस्तार गर्न नियमित क्यालिब्रेसन।

हाम्रा फाइदाहरू
✔ उद्योग अनुभव: ३००+ विश्वव्यापी अर्धचालक र इलेक्ट्रोनिक्स निर्माताहरूलाई सेवा दिँदै।
✔ अत्याधुनिक प्रविधि: सटीक रेखीय गाइडहरू र सर्वो प्रणालीहरूले उद्योग-अग्रणी स्थिरता सुनिश्चित गर्छन्।
✔ विश्वव्यापी सेवा नेटवर्क: स्थानीयकृत समर्थनको लागि एशिया, युरोप र उत्तरी अमेरिकामा कभरेज।
परीक्षण वा सोधपुछको लागि, हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्!

