8 इन्च SiC उत्पादन ग्रेड वेफर 4H-N SiC सब्सट्रेट
निम्न तालिकाले हाम्रो 8 इन्च SiC wafers को विशिष्टताहरू देखाउँछ:
| 8 इन्च एन-प्रकार SiC DSP चश्मा | |||||
| नम्बर | वस्तु | एकाइ | उत्पादन | अनुसन्धान | डमी |
| १: प्यारामिटरहरू | |||||
| १.१ | पोलिटाइप | -- | 4H | 4H | 4H |
| १.२ | सतह अभिमुखीकरण | ° | <११-२०>४±०.५ | <११-२०>४±०.५ | <११-२०>४±०.५ |
| 2: इलेक्ट्रिकल प्यारामिटर | |||||
| २.१ | डोपेन्ट | -- | n-प्रकार नाइट्रोजन | n-प्रकार नाइट्रोजन | n-प्रकार नाइट्रोजन |
| २.२ | प्रतिरोधात्मकता | ओम · सेमी | ०.०१५~०.०२५ | ०.०१~०.०३ | NA |
| 3: मेकानिकल प्यारामिटर | |||||
| ३.१ | व्यास | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| ३.२ | मोटाई | μm | ५००±२५ | ५००±२५ | ५००±२५ |
| ३.३ | निशान अभिमुखीकरण | ° | [१- १००]±५ | [१- १००]±५ | [१- १००]±५ |
| ३.४ | खाच गहिराई | mm | १~१.५ | १~१.५ | १~१.५ |
| ३.५ | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| ३.६ | TTV | μm | ≤१० | ≤१० | ≤१५ |
| ३.७ | धनुष | μm | -२५~२५ | -४५~४५ | -६५~६५ |
| ३.८ | ताना | μm | ≤३० | ≤50 | ≤70 |
| ३.९ | AFM | nm | Ra≤ ०.२ | Ra≤ ०.२ | Ra≤ ०.२ |
| 4: संरचना | |||||
| ४.१ | माइक्रोपाइप घनत्व | ea/cm2 | ≤२ | ≤१० | ≤50 |
| ४.२ | धातु सामग्री | परमाणु/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| ४.३ | TSD | ea/cm2 | ≤५०० | ≤1000 | NA |
| ४.४ | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| ४.५ | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. अगाडि गुणस्तर | |||||
| ५.१ | अगाडि | -- | Si | Si | Si |
| ५.२ | सतह समाप्त | -- | सि-फेस CMP | सि-फेस CMP | सि-फेस CMP |
| ५.३ | कण | ea/wafer | ≤100(आकार≥0.3μm) | NA | NA |
| ५.४ | खरोंच | ea/wafer | ≤5, कुल लम्बाइ≤200mm | NA | NA |
| ५.५ | किनारा चिप्स/इन्डेन्ट्स/क्र्याक/दाग/दूषित | -- | कुनै पनि छैन | कुनै पनि छैन | NA |
| ५.६ | पोलिटाइप क्षेत्रहरू | -- | कुनै पनि छैन | क्षेत्रफल ≤ १०% | क्षेत्रफल ≤ ३०% |
| ५.७ | अगाडि मार्किङ | -- | कुनै पनि छैन | कुनै पनि छैन | कुनै पनि छैन |
| 6: ब्याक गुणस्तर | |||||
| ६.१ | फिर्ता समाप्त | -- | सी-अनुहार सांसद | सी-अनुहार सांसद | सी-अनुहार सांसद |
| ६.२ | खरोंच | mm | NA | NA | NA |
| ६.३ | पछाडि दोष किनारा चिप्स/इन्डेन्टहरू | -- | कुनै पनि छैन | कुनै पनि छैन | NA |
| ६.४ | पछाडिको खुरदुरापन | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| ६.५ | ब्याक मार्किङ | -- | खाच | खाच | खाच |
| ७: किनारा | |||||
| ७.१ | किनारा | -- | च्याम्फर | च्याम्फर | च्याम्फर |
| 8: प्याकेज | |||||
| ८.१ | प्याकेजिङ | -- | वैक्यूम संग Epi-तयार प्याकेजिङ | वैक्यूम संग Epi-तयार प्याकेजिङ | वैक्यूम संग Epi-तयार प्याकेजिङ |
| ८.२ | प्याकेजिङ | -- | बहु-वेफर क्यासेट प्याकेजिङ | बहु-वेफर क्यासेट प्याकेजिङ | बहु-वेफर क्यासेट प्याकेजिङ |
विस्तृत रेखाचित्र
यहाँ आफ्नो सन्देश लेख्नुहोस् र हामीलाई पठाउनुहोस्
