पूर्ण स्वचालित वेफर रिङ-काट्ने उपकरण काम गर्ने आकार ८ इन्च/१२ इन्च वेफर रिङ काट्ने

छोटो वर्णन:

XKH ले स्वतन्त्र रूपमा पूर्ण स्वचालित वेफर एज ट्रिमिङ प्रणाली विकास गरेको छ, जसले फ्रन्ट-एन्ड सेमीकन्डक्टर उत्पादन प्रक्रियाहरूको लागि डिजाइन गरिएको उन्नत समाधानको प्रतिनिधित्व गर्दछ। यो उपकरणले नवीन बहु-अक्ष सिंक्रोनस नियन्त्रण प्रविधि समावेश गर्दछ र उच्च-कठोरता स्पिन्डल प्रणाली (अधिकतम रोटेशन गति: 60,000 RPM) सुविधा दिन्छ, जसले ±5μm सम्म काट्ने शुद्धताका साथ सटीक किनारा ट्रिमिङ प्रदान गर्दछ। प्रणालीले विभिन्न अर्धचालक सब्सट्रेटहरूसँग उत्कृष्ट अनुकूलता प्रदर्शन गर्दछ, जसमा समावेश छ तर सीमित छैन:
१.सिलिकन वेफर्स (Si): ८-१२ इन्च वेफर्सको किनारा प्रशोधनको लागि उपयुक्त;
२. यौगिक अर्धचालक: तेस्रो पुस्ताको अर्धचालक सामग्री जस्तै GaAs र SiC;
३.विशेष सब्सट्रेटहरू: LT/LN सहित पिजोइलेक्ट्रिक सामग्री वेफरहरू;

मोड्युलर डिजाइनले हीरा ब्लेड र लेजर काट्ने टाउको सहित धेरै उपभोग्य वस्तुहरूको द्रुत प्रतिस्थापनलाई समर्थन गर्दछ, उद्योग मापदण्डहरू भन्दा अनुकूलताको साथ। विशेष प्रक्रिया आवश्यकताहरूको लागि, हामी समावेश गर्ने व्यापक समाधानहरू प्रदान गर्दछौं:
· समर्पित काटन उपभोग्य वस्तुहरूको आपूर्ति
· अनुकूलन प्रशोधन सेवाहरू
· प्रक्रिया प्यारामिटर अनुकूलन समाधानहरू

हामीलाई इमेल पठाउनुहोस्

विशेषताहरू

प्राविधिक प्यारामिटरहरू

प्यारामिटर	एकाइ	निर्दिष्टीकरण
अधिकतम वर्कपीस साइज	mm	१२"
स्पिन्डल	कन्फिगरेसन	एकल स्पिन्डल
	गति	३,०००–६०,००० आरपीएम
	आउटपुट पावर	३०,००० मिनेटमा १.८ किलोवाट (२.४ वैकल्पिक)⁻¹
	अधिकतम ब्लेड डाय।	Ø५८ मिमी
एक्स-अक्ष	काट्ने दायरा	३१० मिमी
Y-अक्ष	काट्ने दायरा	३१० मिमी
	चरण वृद्धि	०.०००१ मिमी
	स्थिति निर्धारण शुद्धता	≤०.००३ मिमी/३१० मिमी, ≤०.००२ मिमी/५ मिमी (एकल त्रुटि)
Z-अक्ष	आन्दोलनको संकल्प	०.००००५ मिमी
Z-अक्ष	दोहोरिने क्षमता	०.००१ मिमी
θ-अक्ष	अधिकतम परिक्रमा	३८० डिग्री
स्पिन्डल प्रकार		रिङ काट्नको लागि कडा ब्लेडले सुसज्जित एकल स्पिन्डल
घण्टी काट्ने शुद्धता	माइक्रोमिटर	±५०
वेफर पोजिसनिङ शुद्धता	माइक्रोमिटर	±५०
एकल-वेफर दक्षता	न्यूनतम/वेफर	8
बहु-वेफर दक्षता		एकैसाथ ४ वटासम्म वेफर प्रशोधन गर्न सकिन्छ
उपकरणको तौल	kg	≈३,२००
उपकरणको आयाम (W×D×H)	mm	२,७३० × १,५५० × २,०७०

सञ्चालन सिद्धान्त

यस प्रणालीले यी मुख्य प्रविधिहरू मार्फत असाधारण ट्रिमिङ प्रदर्शन प्राप्त गर्दछ:

१. बुद्धिमान गति नियन्त्रण प्रणाली:
· उच्च-परिशुद्धता रेखीय मोटर ड्राइभ (दोहोरिने स्थिति शुद्धता: ±०.५μm)
· जटिल प्रक्षेपण योजनालाई समर्थन गर्ने छ-अक्ष सिंक्रोनस नियन्त्रण
· काट्ने स्थिरता सुनिश्चित गर्दै वास्तविक-समय कम्पन दमन एल्गोरिदमहरू

२. उन्नत पत्ता लगाउने प्रणाली:
· एकीकृत ३D लेजर उचाइ सेन्सर (शुद्धता: ०.१μm)
· उच्च-रिजोल्युसन सीसीडी दृश्य स्थिति (५ मेगापिक्सेल)
· अनलाइन गुणस्तर निरीक्षण मोड्युल

३. पूर्ण स्वचालित प्रक्रिया:
· स्वचालित लोडिङ/अनलोडिङ (FOUP मानक इन्टरफेस उपयुक्त)
· बुद्धिमान क्रमबद्ध प्रणाली
· बन्द-लूप सफाई एकाइ (सफाई: कक्षा १०)

सामान्य अनुप्रयोगहरू

यो उपकरणले अर्धचालक उत्पादन अनुप्रयोगहरूमा महत्त्वपूर्ण मूल्य प्रदान गर्दछ:

आवेदन क्षेत्र	प्रक्रिया सामग्रीहरू	प्राविधिक फाइदाहरू
आईसी निर्माण	८/१२" सिलिकन वेफर्स	लिथोग्राफी पङ्क्तिबद्धता बढाउँछ
पावर उपकरणहरू	SiC/GaN वेफरहरू	किनारा दोषहरू रोक्छ
MEMS सेन्सरहरू	SOI वेफर्स	उपकरणको विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ
आरएफ उपकरणहरू	GaAs वेफर्स	उच्च-फ्रिक्वेन्सी प्रदर्शन सुधार गर्दछ
उन्नत प्याकेजिङ	पुनर्गठित वेफरहरू	प्याकेजिङ उपज बढाउँछ

विशेषताहरू

१. उच्च प्रशोधन दक्षताको लागि चार-स्टेशन कन्फिगरेसन;
२. स्थिर TAIKO रिंग डिबन्डिङ र हटाउने;
३. प्रमुख उपभोग्य वस्तुहरूसँग उच्च अनुकूलता;
४. बहु-अक्ष सिंक्रोनस ट्रिमिङ प्रविधिले सटीक किनारा काट्ने सुनिश्चित गर्दछ;
५. पूर्ण स्वचालित प्रक्रिया प्रवाहले श्रम लागतलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ;
६. अनुकूलित कार्यतालिकाको डिजाइनले विशेष संरचनाहरूको स्थिर प्रशोधन सक्षम बनाउँछ;

कार्यहरू

१. रिङ-ड्रप पत्ता लगाउने प्रणाली;
२. स्वचालित कार्य तालिका सफाई;
३. बुद्धिमान UV डिबन्डिङ प्रणाली;
४. सञ्चालन लग रेकर्डिङ;
५. कारखाना स्वचालन मोड्युल एकीकरण;

सेवा प्रतिबद्धता

XKH ले तपाईंको उत्पादन यात्राभरि उपकरणको कार्यसम्पादन र परिचालन दक्षतालाई अधिकतम बनाउन डिजाइन गरिएको व्यापक, पूर्ण जीवनचक्र समर्थन सेवाहरू प्रदान गर्दछ।
१. अनुकूलन सेवाहरू
· अनुकूलित उपकरण कन्फिगरेसन: हाम्रो इन्जिनियरिङ टोलीले विशिष्ट सामग्री गुणहरू (Si/SiC/GaAs) र प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा प्रणाली प्यारामिटरहरू (काट्ने गति, ब्लेड चयन, आदि) अनुकूलन गर्न ग्राहकहरूसँग नजिकबाट सहकार्य गर्दछ।
· प्रक्रिया विकास समर्थन: हामी किनारा खस्रोपन मापन र दोष म्यापिङ सहित विस्तृत विश्लेषण रिपोर्टहरू सहित नमूना प्रशोधन प्रस्ताव गर्दछौं।
· उपभोग्य वस्तुहरूको सह-विकास: नयाँ सामग्रीहरू (जस्तै, Ga₂O₃) को लागि, हामी अनुप्रयोग-विशिष्ट ब्लेड/लेजर अप्टिक्स विकास गर्न अग्रणी उपभोग्य निर्माताहरूसँग साझेदारी गर्छौं।

२. व्यावसायिक प्राविधिक सहयोग
· समर्पित अन-साइट समर्थन: महत्वपूर्ण र्‍याम्प-अप चरणहरू (सामान्यतया २-४ हप्ता) को लागि प्रमाणित इन्जिनियरहरूलाई तोक्नुहोस्, जसमा समावेश छ:
उपकरण क्यालिब्रेसन र प्रक्रिया फाइन-ट्युनिङ
अपरेटर दक्षता तालिम
ISO कक्षा ५ क्लिनरूम एकीकरण मार्गदर्शन
· भविष्यसूचक मर्मतसम्भार: अनियोजित डाउनटाइम रोक्न कम्पन विश्लेषण र सर्वो मोटर डायग्नोस्टिक्सको साथ त्रैमासिक स्वास्थ्य जाँच।
· रिमोट मोनिटरिङ: स्वचालित विसंगति अलर्टहरू सहित हाम्रो IoT प्लेटफर्म (JCFront Connect®) मार्फत वास्तविक-समय उपकरण प्रदर्शन ट्र्याकिङ।

३. मूल्य अभिवृद्धि सेवाहरू
· प्रक्रिया ज्ञान आधार: विभिन्न सामग्रीहरूको लागि ३००+ मान्य काट्ने रेसिपीहरू पहुँच गर्नुहोस् (त्रैमासिक रूपमा अद्यावधिक गरिएको)।
· प्रविधि रोडम्याप पङ्क्तिबद्धता: हार्डवेयर/सफ्टवेयर अपग्रेड मार्गहरू (जस्तै, एआई-आधारित दोष पत्ता लगाउने मोड्युल) मार्फत तपाईंको लगानीलाई भविष्य-प्रमाणित गर्नुहोस्।
· आपतकालीन प्रतिक्रिया: ४-घण्टा रिमोट निदान र ४८-घण्टा अन-साइट हस्तक्षेपको ग्यारेन्टी (विश्वव्यापी कभरेज)।

४. सेवा पूर्वाधार
· कार्यसम्पादन ग्यारेन्टी: SLA-समर्थित प्रतिक्रिया समयको साथ ≥98% उपकरण अपटाइमको लागि सम्झौता प्रतिबद्धता।

निरन्तर सुधार

हामी द्वैमासिक रूपमा ग्राहक सन्तुष्टि सर्वेक्षण गर्छौं र सेवा वितरण बढाउन काइजेन पहलहरू लागू गर्छौं। हाम्रो अनुसन्धान र विकास टोलीले क्षेत्रीय अन्तर्दृष्टिलाई उपकरण अपग्रेडमा अनुवाद गर्छ - फर्मवेयर सुधारहरूको ३०% ग्राहक प्रतिक्रियाबाट उत्पन्न हुन्छ।