नीलमणि SiC Si को लागि आयन बीम पालिस गर्ने मेसिन
विस्तृत रेखाचित्र
आयन बीम पालिसिङ मेसिनको उत्पादन अवलोकन
आयन बीम फिगरिङ र पालिसिङ मेसिन आयन स्पटरिङको सिद्धान्तमा आधारित छ। उच्च-भ्याकुम चेम्बर भित्र, आयन स्रोतले प्लाज्मा उत्पन्न गर्छ, जुन उच्च-ऊर्जा आयन बीममा द्रुत हुन्छ। यो बीमले अप्टिकल कम्पोनेन्टको सतहमा बमबारी गर्छ, अल्ट्रा-सटीक सतह सुधार र परिष्करण प्राप्त गर्न आणविक स्केलमा सामग्री हटाउँछ।
सम्पर्करहित प्रक्रियाको रूपमा, आयन बीम पालिसिङले मेकानिकल तनाव हटाउँछ र भू-सतह क्षतिलाई रोक्छ, जसले गर्दा यसलाई खगोल विज्ञान, एयरोस्पेस, अर्धचालक र उन्नत अनुसन्धान अनुप्रयोगहरूमा प्रयोग हुने उच्च-परिशुद्धता अप्टिक्स निर्माणको लागि आदर्श बनाउँछ।
आयन बीम पालिसिङ मेसिनको कार्य सिद्धान्त
आयन पुस्ता
निष्क्रिय ग्यास (जस्तै, आर्गन) भ्याकुम चेम्बरमा प्रवेश गरिन्छ र विद्युतीय डिस्चार्ज मार्फत प्लाज्मा बनाउन आयनीकृत गरिन्छ।
त्वरण र बीम गठन
आयनहरूलाई धेरै सय वा हजार इलेक्ट्रोन भोल्ट (eV) मा द्रुत बनाइन्छ र स्थिर, केन्द्रित बीम स्पटमा आकार दिइन्छ।
सामग्री हटाउने
आयन किरणले रासायनिक प्रतिक्रियाहरू सुरु नगरी भौतिक रूपमा सतहबाट परमाणुहरू फ्याँक्छ।
त्रुटि पत्ता लगाउने र मार्ग योजना
सतहको आकृति विचलन इन्टरफेरोमेट्रीद्वारा मापन गरिन्छ। बस्ने समय निर्धारण गर्न र अनुकूलित उपकरण मार्गहरू उत्पन्न गर्न हटाउने कार्यहरू लागू गरिन्छ।
बन्द-लूप सुधार
RMS/PV परिशुद्धता लक्ष्यहरू प्राप्त नभएसम्म प्रशोधन र मापनको पुनरावृत्ति चक्र जारी रहन्छ।
आयन बीम पालिसिङ मेसिनका मुख्य विशेषताहरू
विश्वव्यापी सतह अनुकूलता- समतल, गोलाकार, गोलाकार र मुक्त आकारका सतहहरू प्रशोधन गर्दछ
अल्ट्रा-स्थिर हटाउने दर- सब-न्यानोमिटर फिगर सुधार सक्षम गर्दछ
क्षतिमुक्त प्रशोधन- कुनै पनि सतह दोष वा संरचनात्मक परिवर्तनहरू छैनन्
निरन्तर प्रदर्शन- फरक-फरक कठोरताका सामग्रीहरूमा समान रूपमा राम्रोसँग काम गर्दछ।
कम/मध्यम आवृत्ति सुधार- मध्यम/उच्च-फ्रिक्वेन्सी कलाकृतिहरू उत्पन्न नगरी त्रुटिहरू हटाउँछ।
कम मर्मत आवश्यकता- न्यूनतम डाउनटाइमको साथ लामो निरन्तर सञ्चालन
आयन बीम पालिसिङ मेसिनको मुख्य प्राविधिक विशिष्टताहरू
| वस्तु | निर्दिष्टीकरण |
| प्रशोधन विधि | उच्च भ्याकुम वातावरणमा आयन थुप्रिँदै |
| प्रशोधन प्रकार | सम्पर्करहित सतहको चित्रण र पालिसिङ |
| अधिकतम वर्कपीस साइज | Φ४००० मिमी |
| गति अक्षहरू | ३-अक्ष / ५-अक्ष |
| हटाउने स्थिरता | ≥९५% |
| सतह शुद्धता | PV < १० nm; RMS ≤ ०.५ nm (विशिष्ट RMS < १ nm; PV < १५ nm) |
| फ्रिक्वेन्सी सुधार क्षमता | मध्यम/उच्च आवृत्ति त्रुटिहरू परिचय नगरी कम-मध्यम आवृत्ति त्रुटिहरू हटाउँछ। |
| निरन्तर सञ्चालन | भ्याकुम मर्मत बिना ३-५ हप्ता |
| मर्मत लागत | कम |
आयन बीम पालिसिङ मेसिनको प्रशोधन क्षमताहरू
समर्थित सतह प्रकारहरू
सरल: समतल, गोलाकार, प्रिज्म
जटिल: सममित/असममित एस्फेयर, अफ-अक्ष एस्फेयर, बेलनाकार
विशेष: अल्ट्रा-थिन अप्टिक्स, स्लेट अप्टिक्स, हेमिस्फेरिकल अप्टिक्स, कन्फर्मल अप्टिक्स, फेज प्लेटहरू, फ्रीफर्म सतहहरू
समर्थित सामग्रीहरू
अप्टिकल गिलास: क्वार्ट्ज, माइक्रोक्रिस्टलाइन, K9, आदि।
इन्फ्रारेड सामग्री: सिलिकन, जर्मेनियम, आदि।
धातुहरू: एल्युमिनियम, स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम मिश्र धातु, आदि।
क्रिस्टलहरू: YAG, एकल-क्रिस्टल सिलिकन कार्बाइड, आदि।
कडा/भंगुर सामग्री: सिलिकन कार्बाइड, आदि।
सतह गुणस्तर / परिशुद्धता
१० एनएम भन्दा कम पीभी
RMS ≤ ०.५ एनएम
आयन बीम पालिसिङ मेसिनको केस स्टडी प्रशोधन गर्दै
केस १ - मानक फ्ल्याट ऐना
वर्कपीस: D630 मिमी क्वार्ट्ज फ्ल्याट
परिणाम: PV ४६.४ nm; RMS ४.६३ nm
केस २ - एक्स-रे रिफ्लेक्टिभ मिरर
वर्कपीस: १५० × ३० मिमी सिलिकन फ्ल्याट
परिणाम: PV ८.३ nm; RMS ०.३७९ nm; ढलान ०.१३ µrad
केस ३ - अफ-एक्सिस मिरर
वर्कपीस: D326 मिमी अफ-अक्ष ग्राउन्ड मिरर
परिणाम: PV ३५.९ nm; RMS ३.९ nm
क्वार्ट्ज चश्माको बारम्बार सोधिने प्रश्नहरू
FAQ - आयन बीम पालिस गर्ने मेसिन
Q1: आयन बीम पालिसिङ भनेको के हो?
A1:आयन बीम पालिसिङ एक गैर-सम्पर्क प्रक्रिया हो जसले वर्कपीस सतहबाट सामग्री हटाउन आयनहरूको केन्द्रित बीम (जस्तै आर्गन आयनहरू) प्रयोग गर्दछ। आयनहरूलाई द्रुत गतिमा सतहतिर निर्देशित गरिन्छ, जसले गर्दा परमाणु-स्तरको सामग्री हटाइन्छ, जसको परिणामस्वरूप अल्ट्रा-स्मूथ फिनिश हुन्छ। यो प्रक्रियाले मेकानिकल तनाव र उप-सतह क्षतिलाई हटाउँछ, जसले यसलाई परिशुद्धता अप्टिकल घटकहरूको लागि आदर्श बनाउँछ।
Q2: आयन बीम पालिसिङ मेसिनले कस्ता प्रकारका सतहहरू प्रशोधन गर्न सक्छ?
A2:दआयन बीम पालिस गर्ने मेसिनसाधारण अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू सहित विभिन्न सतहहरू प्रशोधन गर्न सक्छसमतल, गोलाकार र प्रिज्महरू, साथै जटिल ज्यामितिहरू जस्तैअसिफियर, अफ-अक्ष असिफियर, रमुक्त आकारका सतहहरूयो विशेष गरी अप्टिकल गिलास, इन्फ्रारेड अप्टिक्स, धातु र कडा/भंगुर पदार्थ जस्ता सामग्रीहरूमा प्रभावकारी हुन्छ।
Q3: आयन बीम पालिसिङ मेसिनले कुन सामग्रीसँग काम गर्न सक्छ?
A3:दआयन बीम पालिस गर्ने मेसिनविभिन्न प्रकारका सामग्रीहरू पालिस गर्न सक्छ, जसमा समावेश छन्:
-
अप्टिकल गिलास: क्वार्ट्ज, माइक्रोक्रिस्टलाइन, K9, आदि।
-
इन्फ्रारेड सामग्रीहरू: सिलिकन, जर्मेनियम, आदि।
-
धातुहरू: आल्मुनियम, स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम मिश्र धातु, आदि।
-
क्रिस्टल सामग्रीहरू: YAG, एकल-क्रिस्टल सिलिकन कार्बाइड, आदि।
-
अन्य कडा/भंगुर सामग्रीहरू: सिलिकन कार्बाइड, आदि।
हाम्रो बारेमा
XKH ले विशेष अप्टिकल गिलास र नयाँ क्रिस्टल सामग्रीहरूको उच्च-प्रविधि विकास, उत्पादन र बिक्रीमा विशेषज्ञता राख्छ। हाम्रा उत्पादनहरूले अप्टिकल इलेक्ट्रोनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रोनिक्स र सैन्य सेवा प्रदान गर्दछ। हामी नीलमणि अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू, मोबाइल फोन लेन्स कभरहरू, सिरेमिक्स, LT, सिलिकन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज, र अर्धचालक क्रिस्टल वेफरहरू प्रदान गर्दछौं। कुशल विशेषज्ञता र अत्याधुनिक उपकरणहरूको साथ, हामी गैर-मानक उत्पादन प्रशोधनमा उत्कृष्ट छौं, एक अग्रणी अप्टोइलेक्ट्रोनिक सामग्री उच्च-प्रविधि उद्यम बन्ने लक्ष्य राख्दै।
