माइक्रोजेट लेजर प्रविधि उपकरण वेफर काट्ने SiC सामग्री प्रशोधन
काम गर्ने सिद्धान्त:
१. लेजर युग्मन: स्पन्दित लेजर (UV/हरियो/इन्फ्रारेड) तरल पदार्थको जेट भित्र केन्द्रित हुन्छ जसले गर्दा स्थिर ऊर्जा प्रसारण च्यानल बनाइन्छ।
२. तरल निर्देशन: उच्च-गतिको जेट (प्रवाह दर ५०-२०० मिटर/सेकेन्ड) प्रशोधन क्षेत्रलाई चिसो पार्छ र गर्मी जम्मा हुनबाट बच्न फोहोर हटाउँछ।
३. सामग्री हटाउने: लेजर ऊर्जाले तरल पदार्थमा गुहा प्रभाव पार्छ जसले गर्दा सामग्रीको चिसो प्रशोधन हुन्छ (तातो प्रभावित क्षेत्र <१μm)।
४. गतिशील नियन्त्रण: विभिन्न सामग्री र संरचनाहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न लेजर प्यारामिटरहरू (शक्ति, आवृत्ति) र जेट प्रेसरको वास्तविक-समय समायोजन।
मुख्य प्यारामिटरहरू:
१. लेजर पावर: १०-५०० वाट (समायोज्य)
२. जेट व्यास: ५०-३००μm
३. मेसिनिङ शुद्धता: ±०.५μm (काट्ने), गहिराइदेखि चौडाइ अनुपात १०:१ (ड्रिलिंग)

प्राविधिक फाइदाहरू:
(१) लगभग शून्य ताप क्षति
- तरल जेट कूलिङले ताप प्रभावित क्षेत्र (HAZ) लाई **<१μm** सम्म नियन्त्रण गर्छ, परम्परागत लेजर प्रशोधनबाट हुने सूक्ष्म-क्र्याकहरूबाट बच्न (HAZ सामान्यतया >१०μm हुन्छ)।
(२) अति-उच्च परिशुद्धता मेसिनिङ
- काट्ने/ड्रिलिंग शुद्धता **±०.५μm** सम्म, किनाराको खस्रोपन Ra<०.२μm, पछि पालिस गर्ने आवश्यकता कम गर्नुहोस्।
- जटिल थ्रीडी संरचना प्रशोधनलाई समर्थन गर्नुहोस् (जस्तै शंक्वाकार प्वालहरू, आकारका स्लटहरू)।
(३) व्यापक सामग्री अनुकूलता
- कडा र भंगुर पदार्थहरू: SiC, नीलमणि, गिलास, सिरेमिक (परम्परागत विधिहरू सजिलै चकनाचूर हुन्छन्)।
- ताप संवेदनशील सामग्रीहरू: पोलिमरहरू, जैविक तन्तुहरू (थर्मल डिनेचुरेसनको जोखिम छैन)।
(४) वातावरण संरक्षण र दक्षता
- धुलो प्रदूषण हुँदैन, तरल पदार्थ पुन: प्रयोग र फिल्टर गर्न सकिन्छ।
- प्रशोधन गतिमा ३०%-५०% वृद्धि (मेसिनिङको तुलनामा)।
(५) बुद्धिमान नियन्त्रण
- एकीकृत दृश्य स्थिति र एआई प्यारामिटर अनुकूलन, अनुकूली सामग्री मोटाई र दोषहरू।
प्राविधिक विशिष्टताहरू:
काउन्टरटप भोल्युम | ३००*३००*१५० | ४००*४००*२०० |
रेखीय अक्ष XY | रेखीय मोटर। रेखीय मोटर | रेखीय मोटर। रेखीय मोटर |
रेखीय अक्ष Z | १५० | २०० |
स्थिति निर्धारण शुद्धता μm | +/-५ | +/-५ |
दोहोरिएको स्थिति शुद्धता μm | +/-२ | +/-२ |
गतिवर्धन G | 1 | ०.२९ |
संख्यात्मक नियन्त्रण | ३ अक्ष /३+१ अक्ष /३+२ अक्ष | ३ अक्ष /३+१ अक्ष /३+२ अक्ष |
संख्यात्मक नियन्त्रण प्रकार | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
तरंगदैर्ध्य nm | ५३२/१०६४ | ५३२/१०६४ |
मूल्याङ्कन गरिएको पावर W | ५०/१००/२०० | ५०/१००/२०० |
पानीको जेट | ४०-१०० | ४०-१०० |
नोजल प्रेसर बार | ५०-१०० | ५०-६०० |
आयाम (मेशिन उपकरण) (चौडाई * लम्बाई * उचाई) मिमी | १४४५*१९४४*२२६० | १७००*१५००*२१२० |
आकार (नियन्त्रण क्याबिनेट) (W * L * H) | ७००*२५००*१६०० | ७००*२५००*१६०० |
तौल (उपकरण) T | २.५ | 3 |
तौल (नियन्त्रण क्याबिनेट) केजी | ८०० | ८०० |
प्रशोधन क्षमता | सतह खुरदरापन Ra≤1.6um खोल्ने गति ≥१.२५ मिमी/सेकेन्ड परिधि काट्ने ≥6mm/s रैखिक काट्ने गति ≥५० मिमी/सेकेन्ड | सतह खुरदरापन Ra≤1.2um खोल्ने गति ≥१.२५ मिमी/सेकेन्ड परिधि काट्ने ≥6mm/s रैखिक काट्ने गति ≥५० मिमी/सेकेन्ड |
ग्यालियम नाइट्राइड क्रिस्टल, अल्ट्रा-वाइड ब्यान्ड ग्याप सेमीकन्डक्टर सामग्री (हीरा/ग्यालियम अक्साइड), एयरोस्पेस विशेष सामग्री, LTCC कार्बन सिरेमिक सब्सट्रेट, फोटोभोल्टिक, सिन्टिलेटर क्रिस्टल र अन्य सामग्री प्रशोधनका लागि। नोट: प्रशोधन क्षमता सामग्रीको विशेषताहरूमा निर्भर गर्दछ।
|
प्रशोधन केस:

XKH का सेवाहरू:
XKH ले माइक्रोजेट लेजर टेक्नोलोजी उपकरणहरूको लागि पूर्ण जीवन चक्र सेवा समर्थनको पूर्ण दायरा प्रदान गर्दछ, प्रारम्भिक प्रक्रिया विकास र उपकरण चयन परामर्शदेखि, मध्य-अवधि अनुकूलित प्रणाली एकीकरण (लेजर स्रोत, जेट प्रणाली र स्वचालन मोड्युलको विशेष मिलान सहित), पछि सञ्चालन र मर्मत प्रशिक्षण र निरन्तर प्रक्रिया अनुकूलन सम्म, सम्पूर्ण प्रक्रिया व्यावसायिक प्राविधिक टोली समर्थनले सुसज्जित छ; २० वर्षको सटीक मेसिनिंग अनुभवको आधारमा, हामी अर्धचालक र चिकित्सा जस्ता विभिन्न उद्योगहरूको लागि उपकरण प्रमाणीकरण, ठूलो उत्पादन परिचय र बिक्री पछिको द्रुत प्रतिक्रिया (२४ घण्टा प्राविधिक समर्थन + प्रमुख स्पेयर पार्ट्स रिजर्भ) सहित एक-स्टप समाधानहरू प्रदान गर्न सक्छौं, र १२ महिना लामो वारेन्टी र आजीवन मर्मतसम्भार र स्तरोन्नति सेवाको वाचा गर्दछौं। सुनिश्चित गर्नुहोस् कि ग्राहक उपकरणहरूले सधैं उद्योग-अग्रणी प्रशोधन प्रदर्शन र स्थिरता कायम राख्छन्।
विस्तृत रेखाचित्र


