SiC सिरेमिक फोर्क आर्म / एन्ड इफेक्टर - अर्धचालक निर्माणको लागि उन्नत प्रेसिजन ह्यान्डलिंग
विस्तृत रेखाचित्र


उत्पादन सकियोview

SiC सिरेमिक फोर्क आर्म, जसलाई प्रायः सिरेमिक एन्ड इफेक्टर भनेर चिनिन्छ, उच्च-प्रदर्शन सटीक ह्यान्डलिंग कम्पोनेन्ट हो जुन विशेष गरी उच्च-प्रविधि उद्योगहरूमा वेफर ट्रान्सपोर्ट, पङ्क्तिबद्धता, र स्थिति निर्धारणको लागि विकसित गरिएको हो, विशेष गरी अर्धचालक र फोटोभोल्टिक उत्पादन भित्र। उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक प्रयोग गरेर निर्मित, यो कम्पोनेन्टले असाधारण मेकानिकल शक्ति, अल्ट्रा-लो थर्मल विस्तार, र थर्मल झटका र क्षरणको लागि उच्च प्रतिरोधलाई संयोजन गर्दछ।
एल्युमिनियम, स्टेनलेस स्टील, वा क्वार्ट्जबाट बनेका परम्परागत एन्ड इफेक्टरहरू भन्दा फरक, SiC सिरेमिक एन्ड इफेक्टरहरूले भ्याकुम चेम्बरहरू, क्लिनरूमहरू, र कठोर प्रशोधन वातावरणमा अतुलनीय प्रदर्शन प्रदान गर्छन्, जसले गर्दा तिनीहरूलाई अर्को पुस्ताको वेफर ह्यान्डलिंग रोबोटहरूको प्रमुख भाग बनाउँछ। प्रदूषण-मुक्त उत्पादनको बढ्दो माग र चिपमेकिंगमा कडा सहनशीलतासँगै, सिरेमिक एन्ड इफेक्टरहरूको प्रयोग द्रुत रूपमा उद्योग मानक बन्दै गएको छ।
उत्पादन सिद्धान्त
को निर्माणSiC सिरेमिक एन्ड इफेक्टरहरूउच्च-परिशुद्धता, उच्च-शुद्धता प्रक्रियाहरूको श्रृंखला समावेश गर्दछ जसले प्रदर्शन र टिकाउपन दुवै सुनिश्चित गर्दछ। दुई मुख्य प्रक्रियाहरू सामान्यतया प्रयोग गरिन्छ:
प्रतिक्रिया-बन्धित सिलिकन कार्बाइड (RB-SiC)
यस प्रक्रियामा, सिलिकन कार्बाइड पाउडर र बाइन्डरबाट बनेको प्रिफर्मलाई उच्च तापक्रम (~१५००°C) मा पग्लिएको सिलिकनले घुसाइन्छ, जसले अवशिष्ट कार्बनसँग प्रतिक्रिया गरेर बाक्लो, कठोर SiC-Si कम्पोजिट बनाउँछ। यो विधिले उत्कृष्ट आयामी नियन्त्रण प्रदान गर्दछ र ठूलो मात्रामा उत्पादनको लागि लागत-प्रभावी छ।
प्रेसरलेस सिन्टर गरिएको सिलिकन कार्बाइड (SSiC)
SSiC अति-मसिनो, उच्च-शुद्धता भएको SiC पाउडरलाई अत्यधिक उच्च तापक्रम (>२०००°C) मा additives वा बाइन्डिङ चरण प्रयोग नगरी सिंटर गरेर बनाइन्छ। यसले लगभग १००% घनत्व र SiC सामग्रीहरूमा उपलब्ध उच्चतम मेकानिकल र थर्मल गुणहरू भएको उत्पादनमा परिणाम दिन्छ। यो अल्ट्रा-क्रिटिकल वेफर ह्यान्डलिंग अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श हो।
प्रशोधन पछि
-
प्रेसिजन सीएनसी मेसिनिङ: उच्च समतलता र समानान्तरता प्राप्त गर्दछ।
-
सतह परिष्करण: हीरा पालिस गर्नाले सतहको खस्रोपन <0.02 µm मा घट्छ।
-
निरीक्षण: प्रत्येक टुक्रा प्रमाणित गर्न अप्टिकल इन्टरफेरोमेट्री, CMM, र गैर-विनाशकारी परीक्षणहरू प्रयोग गरिन्छ।
यी चरणहरूले ग्यारेन्टी दिन्छ किSiC अन्त्य प्रभावकनिरन्तर वेफर प्लेसमेन्ट शुद्धता, उत्कृष्ट समतलता, र न्यूनतम कण उत्पादन प्रदान गर्दछ।
मुख्य सुविधाहरू र फाइदाहरू
सुविधा | विवरण |
---|---|
अति-उच्च कठोरता | विकर्सको कठोरता २५०० HV भन्दा बढी, घिस्रिने र चिप्लिने प्रतिरोधी। |
कम तापीय विस्तार | CTE ~४.५×१०⁻⁶/K, थर्मल साइकल चलाउँदा आयामी स्थिरता सक्षम पार्दै। |
रासायनिक जडत्व | HF, HCl, प्लाज्मा ग्याँसहरू, र अन्य संक्षारक एजेन्टहरूको प्रतिरोधी। |
उत्कृष्ट थर्मल आघात प्रतिरोध | भ्याकुम र फर्नेस प्रणालीहरूमा द्रुत तताउने/चिसो पार्नको लागि उपयुक्त। |
उच्च कठोरता र शक्ति | विक्षेपण बिना लामो क्यान्टिलभर फोर्क आर्महरूलाई समर्थन गर्दछ। |
कम आउटग्यासिङ | अल्ट्रा-हाई भ्याकुम (UHV) वातावरणको लागि आदर्श। |
ISO कक्षा १ सफा कोठा तयार छ | कण-रहित सञ्चालनले वेफरको अखण्डता सुनिश्चित गर्दछ। |
अनुप्रयोगहरू
SiC सिरेमिक फोर्क आर्म / एन्ड इफेक्टर अत्यधिक परिशुद्धता, सफाई र रासायनिक प्रतिरोध चाहिने उद्योगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। मुख्य अनुप्रयोग परिदृश्यहरू समावेश छन्:
अर्धचालक निर्माण
-
डिपोजिसन (CVD, PVD), एचिंग (RIE, DRIE), र सफाई प्रणालीहरूमा वेफर लोडिङ/अनलोडिङ।
-
FOUP, क्यासेट र प्रक्रिया उपकरणहरू बीच रोबोटिक वेफर यातायात।
-
थर्मल प्रशोधन वा एनिलिङको समयमा उच्च-तापमान ह्यान्डलिङ।
फोटोभोल्टिक सेल उत्पादन
-
स्वचालित लाइनहरूमा नाजुक सिलिकन वेफर वा सौर्य सब्सट्रेटहरूको नाजुक ढुवानी।
फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले (FPD) उद्योग
-
OLED/LCD उत्पादन वातावरणमा ठूला गिलास प्यानल वा सब्सट्रेटहरू सार्ने।
कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर / MEMS
-
GaN, SiC, र MEMS निर्माण लाइनहरूमा प्रयोग गरिन्छ जहाँ प्रदूषण नियन्त्रण र स्थिति शुद्धता महत्त्वपूर्ण हुन्छ।
संवेदनशील सञ्चालनको समयमा दोषरहित, स्थिर ह्यान्डलिङ सुनिश्चित गर्न यसको अन्तिम प्रभावकर्ता भूमिका विशेष गरी महत्त्वपूर्ण छ।
अनुकूलन क्षमताहरू
हामी विभिन्न उपकरण र प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न व्यापक अनुकूलन प्रदान गर्दछौं:
-
फोर्क डिजाइन: दुई-खुट्टा भएको, बहु-औँला भएको, वा विभाजित-स्तरको लेआउटहरू।
-
वेफर साइज अनुकूलता: २” देखि १२” सम्मका वेफरहरू।
-
माउन्टिङ इन्टरफेसहरू: OEM रोबोटिक आर्महरूसँग उपयुक्त।
-
मोटाई र सतह सहनशीलता: माइक्रोन-स्तर समतलता र किनारा राउन्डिङ उपलब्ध छ।
-
एन्टी-स्लिप सुविधाहरू: सुरक्षित वेफर ग्रिपको लागि वैकल्पिक सतह बनावट वा कोटिंगहरू।
प्रत्येकसिरेमिक एन्ड इफेक्टरन्यूनतम टुलिङ परिवर्तनहरू सहित सटीक फिटमेन्ट सुनिश्चित गर्न ग्राहकहरूसँग सह-डिजाइन गरिएको छ।
बारम्बार सोधिने प्रश्नहरू (FAQ)
Q1: अन्तिम प्रभावक अनुप्रयोगको लागि SiC क्वार्ट्ज भन्दा कसरी राम्रो छ?
A1:क्वार्ट्ज सामान्यतया यसको शुद्धताको लागि प्रयोग गरिन्छ, तर यसमा मेकानिकल कठोरताको कमी हुन्छ र लोड वा तापक्रम झट्कामा भाँचिने सम्भावना हुन्छ। SiC ले उत्कृष्ट शक्ति, पहिरन प्रतिरोध, र थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ, जसले डाउनटाइम र वेफर क्षतिको जोखिमलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्दछ।
Q2: के यो सिरेमिक फोर्क आर्म सबै रोबोटिक वेफर ह्यान्डलरहरूसँग उपयुक्त छ?
A2:हो, हाम्रा सिरेमिक एन्ड इफेक्टरहरू धेरैजसो प्रमुख वेफर ह्यान्डलिङ प्रणालीहरूसँग उपयुक्त छन् र सटीक इन्जिनियरिङ रेखाचित्रहरूको साथ तपाईंको विशिष्ट रोबोटिक मोडेलहरूमा अनुकूलित गर्न सकिन्छ।
Q3: के यसले वारपिङ बिना ३०० मिमी वेफरहरू ह्यान्डल गर्न सक्छ?
A3:बिल्कुलै। SiC को उच्च कठोरताले पातलो, लामो फोर्क आर्महरूलाई पनि चालको समयमा ढिलो वा विक्षेपन बिना सुरक्षित रूपमा 300 मिमी वेफरहरू समात्न अनुमति दिन्छ।
Q4: SiC सिरेमिक एन्ड इफेक्टरको सामान्य सेवा जीवन कति हुन्छ?
A4:उचित प्रयोगको साथ, SiC एन्ड इफेक्टर परम्परागत क्वार्ट्ज वा एल्युमिनियम मोडेलहरू भन्दा ५ देखि १० गुणा लामो समयसम्म टिक्न सक्छ, यसको थर्मल र मेकानिकल तनावको उत्कृष्ट प्रतिरोधको लागि धन्यवाद।
Q5: के तपाईं प्रतिस्थापन वा द्रुत प्रोटोटाइप सेवाहरू प्रदान गर्नुहुन्छ?
A5:हो, हामी द्रुत नमूना उत्पादनलाई समर्थन गर्छौं र अवस्थित उपकरणहरूबाट CAD रेखाचित्र वा रिभर्स-इन्जिनियर गरिएका भागहरूको आधारमा प्रतिस्थापन सेवाहरू प्रदान गर्दछौं।
हाम्रो बारेमा
XKH ले विशेष अप्टिकल गिलास र नयाँ क्रिस्टल सामग्रीहरूको उच्च-प्रविधि विकास, उत्पादन र बिक्रीमा विशेषज्ञता राख्छ। हाम्रा उत्पादनहरूले अप्टिकल इलेक्ट्रोनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रोनिक्स र सैन्य सेवा प्रदान गर्दछ। हामी नीलमणि अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू, मोबाइल फोन लेन्स कभरहरू, सिरेमिक्स, LT, सिलिकन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज, र अर्धचालक क्रिस्टल वेफरहरू प्रदान गर्दछौं। कुशल विशेषज्ञता र अत्याधुनिक उपकरणहरूको साथ, हामी गैर-मानक उत्पादन प्रशोधनमा उत्कृष्ट छौं, एक अग्रणी अप्टोइलेक्ट्रोनिक सामग्री उच्च-प्रविधि उद्यम बन्ने लक्ष्य राख्दै।
