उच्च-तापमान प्रतिरोधको साथ वेफर क्यारियरको लागि SiC सिरेमिक ट्रे
सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे (SiC ट्रे)
सिलिकन कार्बाइड (SiC) सामग्रीमा आधारित उच्च-प्रदर्शन सिरेमिक कम्पोनेन्ट, अर्धचालक निर्माण र LED उत्पादन जस्ता उन्नत औद्योगिक अनुप्रयोगहरूको लागि ईन्जिनियर गरिएको। यसको मुख्य कार्यहरूमा वेफर क्यारियरको रूपमा सेवा गर्ने, एचिंग प्रक्रिया प्लेटफर्म, वा उच्च-तापमान प्रक्रिया समर्थन, असाधारण थर्मल चालकता, उच्च-तापमान प्रतिरोध, र रासायनिक स्थिरताको लाभ उठाउने प्रक्रिया एकरूपता र उत्पादन उपज सुनिश्चित गर्ने समावेश छ।
प्रमुख विशेषताहरू
१. थर्मल प्रदर्शन
- उच्च तापीय चालकता: १४०–३०० वाट/मीटर·के, परम्परागत ग्रेफाइट (८५ वाट/मीटर·के) भन्दा उल्लेखनीय रूपमा उछिनेको छ, जसले गर्दा द्रुत ताप अपव्यय र कम तापीय तनाव सक्षम हुन्छ।
- कम थर्मल एक्सपेन्सन गुणांक: ४.०×१०⁻⁶/℃ (२५–१०००℃), सिलिकनसँग नजिकबाट मिल्ने (२.६×१०⁻⁶/℃), थर्मल विकृति जोखिम न्यूनीकरण गर्दै।
२. यान्त्रिक गुणहरू
- उच्च शक्ति: लचिलो शक्ति ≥३२० MPa (२०℃), कम्प्रेसन र प्रभाव प्रतिरोधी।
- उच्च कठोरता: मोहस कठोरता ९.५, हीरा पछि दोस्रो, उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध प्रदान गर्दछ।
३. रासायनिक स्थिरता
- क्षरण प्रतिरोध: बलियो एसिड (जस्तै, HF, H₂SO₄) प्रतिरोधी, एचिङ प्रक्रिया वातावरणको लागि उपयुक्त।
- गैर-चुम्बकीय: आन्तरिक चुम्बकीय संवेदनशीलता <1×10⁻⁶ emu/g, परिशुद्धता उपकरणहरूमा हस्तक्षेपबाट बच्न।
४. चरम वातावरणीय सहनशीलता
- उच्च-तापमान स्थायित्व: १६००-१९०० ℃ सम्मको दीर्घकालीन सञ्चालन तापक्रम; २२०० ℃ सम्मको छोटो अवधिको प्रतिरोध (अक्सिजन-रहित वातावरण)।
- थर्मल झट्का प्रतिरोध: अचानक तापक्रम परिवर्तनहरू (ΔT >१०००℃) बिना क्र्याक सहन सक्छ।
अनुप्रयोगहरू
| आवेदन क्षेत्र | विशिष्ट परिदृश्यहरू | प्राविधिक मूल्य |
| अर्धचालक उत्पादन | वेफर एचिंग (ICP), पातलो-फिल्म निक्षेपण (MOCVD), CMP पालिसिङ | उच्च तापीय चालकताले एकरूप तापक्रम क्षेत्रहरू सुनिश्चित गर्दछ; कम तापीय विस्तारले वेफर वार्पेजलाई कम गर्छ। |
| एलईडी उत्पादन | एपिटेक्सियल वृद्धि (जस्तै, GaN), वेफर डाइसिङ, प्याकेजिङ | बहु-प्रकारका दोषहरूलाई दमन गर्दछ, LED को चमकदार दक्षता र आयु बढाउँछ। |
| फोटोभोल्टिक उद्योग | सिलिकन वेफर सिन्टरिङ फर्नेस, PECVD उपकरण समर्थन | उच्च-तापमान र थर्मल झट्का प्रतिरोधले उपकरणको आयु बढाउँछ। |
| लेजर र अप्टिक्स | उच्च-शक्ति लेजर कूलिंग सब्सट्रेटहरू, अप्टिकल प्रणाली समर्थन गर्दछ | उच्च तापीय चालकताले अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूलाई स्थिर गर्दै, द्रुत ताप अपव्ययलाई सक्षम बनाउँछ। |
| विश्लेषणात्मक उपकरणहरू | TGA/DSC नमुना धारकहरू | कम ताप क्षमता र छिटो तापीय प्रतिक्रियाले मापन शुद्धतामा सुधार गर्छ। |
उत्पादनका फाइदाहरू
- व्यापक कार्यसम्पादन: थर्मल चालकता, शक्ति, र जंग प्रतिरोधले एल्युमिना र सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकभन्दा धेरै बढी काम गर्छ, जसले अत्यधिक परिचालन मागहरू पूरा गर्छ।
- हल्का तौलको डिजाइन: ३.१–३.२ ग्राम/सेमी³ (स्टीलको ४०%) को घनत्व, जडत्वीय भार घटाउने र गति शुद्धता बढाउने।
- दीर्घायु र विश्वसनीयता: १६०० ℃ तापक्रममा सेवा जीवन ५ वर्षभन्दा बढी हुन्छ, जसले गर्दा डाउनटाइम घट्छ र सञ्चालन लागत ३०% ले घट्छ।
- अनुकूलन: सटीक अनुप्रयोगहरूको लागि समतलता त्रुटि <15 μm भएका जटिल ज्यामितिहरू (जस्तै, छिद्रपूर्ण सक्शन कप, बहु-तह ट्रेहरू) लाई समर्थन गर्दछ।
प्राविधिक विशिष्टताहरू
| प्यारामिटर श्रेणी | सूचक |
| भौतिक गुणहरू | |
| घनत्व | ≥३.१० ग्राम/सेमी³ |
| लचिलो शक्ति (२०℃) | ३२०–४१० MPa |
| थर्मल चालकता (२०℃) | १४०–३०० वाट/(मिली किलोवाट) |
| थर्मल एक्सपेन्सन कोइफिसिएन्ट (२५–१०००℃) | ४.०×१०⁻⁶/℃ |
| रासायनिक गुणहरू | |
| एसिड प्रतिरोध (HF/H₂SO₄) | २४ घण्टा डुबाइएपछि कुनै क्षरण हुँदैन |
| मेसिनिङ परिशुद्धता | |
| समतलता | ≤१५ μm (३००×३०० मिमी) |
| सतह खस्रोपन (Ra) | ≤०.४ माइक्रोमिटर |
XKH का सेवाहरू
XKH ले कस्टम विकास, परिशुद्धता मेसिनिङ, र कठोर गुणस्तर नियन्त्रणलाई व्यापक औद्योगिक समाधानहरू प्रदान गर्दछ। कस्टम विकासको लागि, यसले अर्धचालक र एयरोस्पेस जस्ता अनुप्रयोगहरूको लागि जटिल ज्यामितिहरूलाई अनुकूलन गर्न 3D मोडेलिङ र सिमुलेशनसँग जोडिएको उच्च-शुद्धता (>99.999%) र छिद्रपूर्ण (30-50% पोरोसिटी) सामग्री समाधानहरू प्रदान गर्दछ। प्रेसिजन मेसिनिङले एक सुव्यवस्थित प्रक्रिया पछ्याउँछ: पाउडर प्रशोधन → आइसोस्टेटिक/ड्राई प्रेसिंग → 2200°C सिन्टरिङ → CNC/डायमन्ड ग्राइन्डिङ → निरीक्षण, न्यानोमिटर-स्तर पालिसिङ र ±0.01 मिमी आयामी सहिष्णुता सुनिश्चित गर्दै। गुणस्तर नियन्त्रणमा पूर्ण-प्रक्रिया परीक्षण (XRD संरचना, SEM माइक्रोस्ट्रक्चर, 3-बिन्दु बेन्डिङ) र प्राविधिक समर्थन (प्रक्रिया अप्टिमाइजेसन, 24/7 परामर्श, 48-घण्टा नमूना डेलिभरी) समावेश छ, उन्नत औद्योगिक आवश्यकताहरूको लागि भरपर्दो, उच्च-प्रदर्शन घटकहरू प्रदान गर्दै।
बारम्बार सोधिने प्रश्नहरू (FAQ)
१. प्रश्न: कुन उद्योगहरूले सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रेहरू प्रयोग गर्छन्?
A: अत्यधिक ताप प्रतिरोध र रासायनिक स्थिरताको कारणले गर्दा अर्धचालक निर्माण (वेफर ह्यान्डलिङ), सौर्य ऊर्जा (PECVD प्रक्रियाहरू), चिकित्सा उपकरण (MRI कम्पोनेन्टहरू), र एयरोस्पेस (उच्च-तापमान भागहरू) मा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
२. प्रश्न: सिलिकन कार्बाइडले क्वार्ट्ज/ग्लास ट्रेहरूलाई कसरी राम्रो प्रदर्शन गर्छ?
A: उच्च थर्मल झट्का प्रतिरोध (क्वार्ट्जको ११००°C बनाम १८००°C सम्म), शून्य चुम्बकीय हस्तक्षेप, र लामो आयु (क्वार्ट्जको ६-१२ महिना बनाम ५+ वर्ष)।
३. प्रश्न: के सिलिकन कार्बाइड ट्रेहरूले अम्लीय वातावरणलाई सम्हाल्न सक्छन्?
A: हो। HF, H2SO4, र NaOH प्रतिरोधी <0.01mm क्षरण/वर्षको साथ, तिनीहरूलाई रासायनिक एचिंग र वेफर सफाईको लागि आदर्श बनाउँछ।
४. प्रश्न: के सिलिकन कार्बाइड ट्रेहरू स्वचालनसँग उपयुक्त छन्?
A: हो। स्वचालित फ्याक्ट्रीहरूमा कण प्रदूषण रोक्नको लागि सतह समतलता <0.01mm सहित, भ्याकुम पिकअप र रोबोटिक ह्यान्डलिङको लागि डिजाइन गरिएको।
५. प्रश्न: परम्परागत सामग्रीको तुलनामा लागतको तुलना के हो?
A: उच्च अग्रिम लागत (३-५ गुणा क्वार्ट्ज) तर विस्तारित आयु, कम डाउनटाइम, र उच्च थर्मल चालकताबाट ऊर्जा बचतको कारणले ३०-५०% कम TCO।
