उपकरणको लागि CVD SiC कोटिंगको साथ SiC सिरेमिक ट्रे प्लेट ग्रेफाइट

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकहरू पातलो फिल्म डिपोजिसन स्टेजमा मात्र प्रयोग गरिँदैन, जस्तै एपिटेक्सी वा MOCVD, वा वेफर प्रशोधनमा, जसको मुटुमा MOCVD को लागि वेफर क्यारियर ट्रेहरू पहिले डिपोजिसन वातावरणको अधीनमा हुन्छन्, र त्यसैले अत्यधिक प्रतिरोधी हुन्छन्। गर्मी र जंग। SiC-लेपित वाहकहरूसँग उच्च थर्मल चालकता र उत्कृष्ट थर्मल पनि हुन्छ। वितरण गुण।

शुद्ध रासायनिक भाप निक्षेप सिलिकन कार्बाइड (CVD SiC) उच्च तापमान धातु जैविक रासायनिक भाप निक्षेप (MOCVD) प्रशोधनको लागि वेफर वाहक।

शुद्ध CVD SiC वेफर वाहकहरू यस प्रक्रियामा प्रयोग हुने परम्परागत वेफर क्यारियरहरू भन्दा उल्लेखनीय रूपमा उच्च छन्, जुन ग्रेफाइट र CVD SiC को तहले लेपित छन्। यी लेपित ग्रेफाइट-आधारित क्यारियरहरूले आजको उच्च चमक नीलो र सेतो नेतृत्वको GaN निक्षेपको लागि आवश्यक उच्च तापमान (1100 देखि 1200 डिग्री सेल्सियस) को सामना गर्न सक्दैन। उच्च तापक्रमले कोटिंगले स-साना पिनहोलहरू विकास गर्छ जसको माध्यमबाट रसायनहरूले तलको ग्रेफाइटलाई नष्ट गर्छ। ग्रेफाइट कणहरू त्यसपछि फ्लेक हुन्छन् र GaN लाई दूषित गर्दछ, जसले लेपित वेफर क्यारियरलाई प्रतिस्थापन गर्दछ।

CVD SiC को शुद्धता 99.999% वा बढी छ र उच्च थर्मल चालकता र थर्मल झटका प्रतिरोध छ। त्यसकारण, यसले उच्च चमक एलईडी निर्माणको उच्च तापमान र कठोर वातावरणलाई सामना गर्न सक्छ। यो एक ठोस मोनोलिथिक सामग्री हो जसले सैद्धान्तिक घनत्वमा पुग्छ, न्यूनतम कणहरू उत्पादन गर्दछ, र धेरै उच्च जंग र क्षरण प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ। सामग्रीले धातु अशुद्धताहरू परिचय नगरी अस्पष्टता र चालकता परिवर्तन गर्न सक्छ। वेफर वाहकहरू सामान्यतया 17 इन्च व्यासमा हुन्छन् र 40 2-4 इन्च वेफरहरू समात्न सक्छन्।