सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडल (SiC क्यान्टिलिभर प्याडल)

छोटो वर्णन:

हामीलाई इमेल पठाउनुहोस्

विशेषताहरू

विस्तृत रेखाचित्र

उत्पादन सकियोview

उच्च-प्रदर्शन प्रतिक्रिया-बन्धित सिलिकन कार्बाइड (RBSiC) बाट निर्मित सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडल, अर्धचालक र फोटोभोल्टिक अनुप्रयोगहरूको लागि वेफर लोडिङ र ह्यान्डलिंग प्रणालीहरूमा प्रयोग हुने एक महत्वपूर्ण घटक हो।
परम्परागत क्वार्ट्ज वा ग्रेफाइट प्याडलहरूको तुलनामा, SiC क्यान्टिलिभर प्याडलहरूले उत्कृष्ट मेकानिकल शक्ति, उच्च कठोरता, कम थर्मल विस्तार, र उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। तिनीहरूले उच्च तापक्रममा उत्कृष्ट संरचनात्मक स्थिरता कायम राख्छन्, ठूला वेफर आकारहरू, विस्तारित सेवा जीवन, र अति-कम प्रदूषणको कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्छन्।

ठूला वेफर व्यास, उच्च थ्रुपुट, र सफा प्रशोधन वातावरण तर्फ अर्धचालक प्रक्रियाहरूको निरन्तर विकाससँगै, SiC क्यान्टिलिभर प्याडलहरूले बिस्तारै परम्परागत सामग्रीहरूलाई प्रतिस्थापन गरेका छन्, जुन प्रसार भट्टीहरू, LPCVD, र सम्बन्धित उच्च-तापमान उपकरणहरूको लागि मनपर्ने विकल्प बनेको छ।

उत्पादन सुविधाहरू

उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता
- विकृति बिना १०००–१३०० ℃ मा भरपर्दो रूपमा सञ्चालन हुन्छ।
- अधिकतम सेवा तापक्रम १३८० डिग्री सेल्सियस सम्म।
उच्च भार वहन क्षमता
- झुकाउने शक्ति २५०-२८० MPa सम्म, क्वार्ट्ज प्याडलहरू भन्दा धेरै बढी।
- ठूला-व्यासका वेफरहरू (३०० मिमी र माथि) ह्यान्डल गर्न सक्षम।
विस्तारित सेवा जीवन र कम मर्मतसम्भार
- कम थर्मल विस्तार गुणांक (४.५ × १०⁻⁶ K⁻¹), LPCVD कोटिंग सामग्रीसँग राम्रोसँग मेल खान्छ।
- तनाव-प्रेरित दरार र पिलिङ्ग कम गर्छ, सफाई र मर्मत चक्रलाई उल्लेखनीय रूपमा विस्तार गर्छ।
जंग प्रतिरोध र शुद्धता
- एसिड र क्षारहरूको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध।
- खुला छिद्र <0.1% सहितको बाक्लो सूक्ष्म संरचना, कण उत्पादन र अशुद्धता निकासीलाई न्यूनतम गर्दै।
स्वचालन-अनुकूल डिजाइन
- उच्च आयामी शुद्धता सहित स्थिर क्रस-सेक्शनल ज्यामिति।
- रोबोटिक वेफर लोडिङ र अनलोडिङ प्रणालीहरूसँग निर्बाध रूपमा एकीकृत हुन्छ, जसले पूर्ण स्वचालित उत्पादनलाई सक्षम बनाउँछ।

भौतिक र रासायनिक गुणहरू

वस्तु	एकाइ	तथ्याङ्क
अधिकतम सेवा तापक्रम	℃	१३८०
घनत्व	ग्राम/सेमी³	३.०४ – ३.०८
खुला पोरोसिटी	%	< ०.१
झुकाउने शक्ति	MPa	२५० (२० डिग्री), २८० (१२०० डिग्री)
लोचको मोड्युलस	जीपीए	३३० (२० डिग्री), ३०० (१२०० डिग्री)
थर्मल चालकता	प/मिटर·केन्द्र	४५ (१२०० ℃)
थर्मल एक्सपेन्सन कोइफिसिएन्ट	K⁻¹×१०⁻⁶	४.५
विकर्स कठोरता	एचभी२	≥ २१००
एसिड/क्षारीय प्रतिरोध	-	उत्कृष्ट

मानक लम्बाइ:२३७८ मिमी, २५५० मिमी, २६६० मिमी
अनुरोधमा अनुकूलित आयामहरू उपलब्ध छन्

अनुप्रयोगहरू

अर्धचालक उद्योग
- LPCVD (कम चापको रासायनिक वाष्प निक्षेपण)
- प्रसार प्रक्रियाहरू (फस्फोरस, बोरोन, आदि)
- थर्मल अक्सिडेशन
फोटोभोल्टिक उद्योग
- पोलिसिलिकन र मोनोक्रिस्टलाइन वेफर प्रसार र कोटिंग
- उच्च-तापमान एनिलिङ र निष्क्रियता
अन्य क्षेत्रहरू
- उच्च-तापमान संक्षारक वातावरण
- लामो सेवा जीवन र कम प्रदूषण आवश्यक पर्ने प्रेसिजन वेफर ह्यान्डलिङ प्रणालीहरू

ग्राहक लाभहरू

सञ्चालन लागत घट्यो- क्वार्ट्ज प्याडलको तुलनामा लामो आयु, डाउनटाइम र प्रतिस्थापन आवृत्ति कम गर्दै।
बढी उत्पादन- अत्यन्तै कम प्रदूषणले वेफरको सतहको स्वच्छता सुनिश्चित गर्दछ र दोष दर घटाउँछ।
भविष्य-प्रमाण- ठूला वेफर आकारहरू र अर्को पुस्ताको अर्धचालक प्रक्रियाहरूसँग उपयुक्त।
सुधारिएको उत्पादकता- रोबोटिक स्वचालन प्रणालीहरूसँग पूर्ण रूपमा उपयुक्त, उच्च-मात्रा उत्पादनलाई समर्थन गर्दै।

FAQ – सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडल

Q1: सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडल भनेको के हो?
A: यो प्रतिक्रिया-बन्धित सिलिकन कार्बाइड (RBSiC) बाट बनेको वेफर समर्थन र ह्यान्डलिंग घटक हो। यो प्रसार भट्टी, LPCVD, र अन्य उच्च-तापमान अर्धचालक र फोटोभोल्टिक प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

Q2: क्वार्ट्ज प्याडलको सट्टा SiC किन रोज्ने?
A: क्वार्ट्ज प्याडलहरूको तुलनामा, SiC प्याडलहरूले प्रस्ताव गर्छन्:

उच्च यान्त्रिक शक्ति र भार वहन क्षमता
१३८० डिग्री सेल्सियस सम्मको तापक्रममा राम्रो थर्मल स्थिरता
धेरै लामो सेवा जीवन र कम मर्मत चक्र
कण उत्पादन र प्रदूषण जोखिम कम गर्नुहोस्
ठूला वेफर आकारहरू (३०० मिमी र माथि) सँग अनुकूलता

Q3: SiC क्यान्टिलिभर प्याडलले कुन वेफर आकारहरूलाई समर्थन गर्न सक्छ?
A: २३७८ मिमी, २५५० मिमी, र २६६० मिमी फर्नेस प्रणालीहरूको लागि मानक प्याडलहरू उपलब्ध छन्। ३०० मिमी र सोभन्दा माथिका वेफरहरूलाई समर्थन गर्न अनुकूलित आयामहरू उपलब्ध छन्।

हाम्रो बारेमा

XKH ले विशेष अप्टिकल गिलास र नयाँ क्रिस्टल सामग्रीहरूको उच्च-प्रविधि विकास, उत्पादन र बिक्रीमा विशेषज्ञता राख्छ। हाम्रा उत्पादनहरूले अप्टिकल इलेक्ट्रोनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रोनिक्स र सैन्य सेवा प्रदान गर्दछ। हामी नीलमणि अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू, मोबाइल फोन लेन्स कभरहरू, सिरेमिक्स, LT, सिलिकन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज, र अर्धचालक क्रिस्टल वेफरहरू प्रदान गर्दछौं। कुशल विशेषज्ञता र अत्याधुनिक उपकरणहरूको साथ, हामी गैर-मानक उत्पादन प्रशोधनमा उत्कृष्ट छौं, एक अग्रणी अप्टोइलेक्ट्रोनिक सामग्री उच्च-प्रविधि उद्यम बन्ने लक्ष्य राख्दै।