SiC नीलमणि Si GAAs वेफरको लागि सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक चक
विस्तृत रेखाचित्र
सिलिकन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक चकको सिंहावलोकन
दसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक चकअर्धचालक निरीक्षण, वेफर निर्माण, र बन्धन अनुप्रयोगहरूको लागि ईन्जिनियर गरिएको उच्च-प्रदर्शन प्लेटफर्म हो। उन्नत सिरेमिक सामग्रीहरू सहित निर्मितसिन्टर्ड SiC (SSiC), प्रतिक्रिया-बन्धित SiC (RSiC), सिलिकन नाइट्राइड, रएल्युमिनियम नाइट्राइड—यसले प्रस्ताव गर्छउच्च कठोरता, कम थर्मल विस्तार, उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध, र लामो सेवा जीवन.
सटीक इन्जिनियरिङ र अत्याधुनिक पालिसिङको साथ, चकले प्रदान गर्दछउप-माइक्रोन समतलता, ऐना-गुणस्तरको सतहहरू, र दीर्घकालीन आयामी स्थिरता, यसलाई महत्वपूर्ण अर्धचालक प्रक्रियाहरूको लागि आदर्श समाधान बनाउँछ।
प्रमुख फाइदाहरू
-
उच्च परिशुद्धता
भित्र नियन्त्रित समतलता०.३–०.५ माइक्रोमिटर, वेफर स्थिरता र निरन्तर प्रक्रिया शुद्धता सुनिश्चित गर्दै। -
ऐना पालिस गर्ने
उपलब्धिहरूरा ०.०२ माइक्रोमिटरसतहको खस्रोपन, वेफर स्क्र्याच र प्रदूषणलाई कम गर्दै - अति-सफा वातावरणको लागि उत्तम। -
अति हलुका
क्वार्ट्ज वा धातु सब्सट्रेटहरू भन्दा बलियो तर हल्का, गति नियन्त्रण, प्रतिक्रियाशीलता, र स्थिति शुद्धतामा सुधार। -
उच्च कठोरता
असाधारण यंगको मोड्युलसले भारी भार र उच्च-गति सञ्चालनमा आयामी स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। -
कम तापीय विस्तार
CTE ले सिलिकन वेफरहरूसँग नजिकबाट मेल खान्छ, थर्मल तनाव कम गर्छ र प्रक्रिया विश्वसनीयता बढाउँछ। -
उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध
अत्यधिक कठोरताले दीर्घकालीन, उच्च-फ्रिक्वेन्सी प्रयोगमा पनि समतलता र शुद्धता कायम राख्छ।
उत्पादन प्रक्रिया
-
कच्चा पदार्थको तयारी
नियन्त्रित कण आकार र अति-कम अशुद्धता भएका उच्च-शुद्धता SiC पाउडरहरू। -
गठन र सिंटरिङ
जस्ता प्रविधिहरूप्रेसरलेस सिन्टरिङ (SSiC) or प्रतिक्रिया बन्धन (RSiC)बाक्लो, एकरूप सिरेमिक सब्सट्रेटहरू उत्पादन गर्नुहोस्। -
प्रेसिजन मेसिनिङ
सीएनसी ग्राइन्डिङ, लेजर ट्रिमिङ, र अल्ट्रा-प्रिसिजन मेसिनिङले ±०.०१ मिमी सहिष्णुता र ≤३ μm समानान्तरता प्राप्त गर्दछ। -
सतह उपचार
Ra ०.०२ μm मा बहु-चरण ग्राइन्डिङ र पालिसिङ; जंग प्रतिरोध वा अनुकूलित घर्षण गुणहरूको लागि वैकल्पिक कोटिंगहरू उपलब्ध छन्। -
निरीक्षण र गुणस्तर नियन्त्रण
इन्टरफेरोमिटर र रफनेस परीक्षकहरूले अर्धचालक-ग्रेड विशिष्टताहरूको अनुपालन प्रमाणित गर्छन्।
प्राविधिक विशिष्टताहरू
| प्यारामिटर | मूल्य | एकाइ |
|---|---|---|
| समतलता | ≤०.५ | माइक्रोमिटर |
| वेफर आकारहरू | ६'', ८'', १२'' (अनुकूलन उपलब्ध) | - |
| सतहको प्रकार | पिन प्रकार / घण्टी प्रकार | - |
| पिनको उचाइ | ०.०५–०.२ | mm |
| न्यूनतम पिन व्यास | ϕ०.२ | mm |
| पिन बीचको न्यूनतम दूरी | 3 | mm |
| सिल रिङको न्यूनतम चौडाइ | ०.७ | mm |
| सतहको खुरदरापन | रा ०.०२ | माइक्रोमिटर |
| मोटाई सहनशीलता | ±०.०१ | mm |
| व्यास सहनशीलता | ±०.०१ | mm |
| समानान्तरता सहिष्णुता | ≤३ | माइक्रोमिटर |
मुख्य अनुप्रयोगहरू
-
अर्धचालक वेफर निरीक्षण उपकरण
-
वेफर निर्माण र स्थानान्तरण प्रणालीहरू
-
वेफर बन्डिङ र प्याकेजिङ उपकरणहरू
-
उन्नत अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरण निर्माण
-
अति-समतल, अति-सफा सतहहरू आवश्यक पर्ने परिशुद्धता उपकरणहरू
प्रश्नोत्तर – सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक चक
Q1: SiC सिरेमिक चकहरू क्वार्ट्ज वा धातु चकहरूसँग कसरी तुलना गर्छन्?
A1: SiC चकहरू हल्का, कडा हुन्छन्, र सिलिकन वेफरको नजिक CTE हुन्छन्, जसले थर्मल विकृतिलाई कम गर्छ। तिनीहरूले उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध र लामो जीवनकाल पनि प्रदान गर्छन्।
प्रश्न २: कस्तो समतलता हासिल गर्न सकिन्छ?
A2: भित्र नियन्त्रित०.३–०.५ माइक्रोमिटर, अर्धचालक उत्पादनको कडा मागहरू पूरा गर्दै।
Q3: के सतहले वेफरहरू स्क्र्याच गर्नेछ?
A3: होइन—ऐनामा पालिस गरिएकोरा ०.०२ माइक्रोमिटर, स्क्र्याच-रहित ह्यान्डलिङ र कम कण उत्पादन सुनिश्चित गर्दै।
Q4: कुन वेफर आकारहरू समर्थित छन्?
A4: मानक आकारहरू६'', ८'', र १२'', अनुकूलन उपलब्ध छ।
Q5: थर्मल प्रतिरोध कस्तो छ?
A5: SiC सिरेमिकले थर्मल साइकल चलाउँदा न्यूनतम विकृतिको साथ उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रदर्शन प्रदान गर्दछ।
हाम्रो बारेमा
XKH ले विशेष अप्टिकल गिलास र नयाँ क्रिस्टल सामग्रीहरूको उच्च-प्रविधि विकास, उत्पादन र बिक्रीमा विशेषज्ञता राख्छ। हाम्रा उत्पादनहरूले अप्टिकल इलेक्ट्रोनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रोनिक्स र सैन्य सेवा प्रदान गर्दछ। हामी नीलमणि अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू, मोबाइल फोन लेन्स कभरहरू, सिरेमिक्स, LT, सिलिकन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज, र अर्धचालक क्रिस्टल वेफरहरू प्रदान गर्दछौं। कुशल विशेषज्ञता र अत्याधुनिक उपकरणहरूको साथ, हामी गैर-मानक उत्पादन प्रशोधनमा उत्कृष्ट छौं, एक अग्रणी अप्टोइलेक्ट्रोनिक सामग्री उच्च-प्रविधि उद्यम बन्ने लक्ष्य राख्दै।
