सिलिकन कार्बइड सिरेमिक ट्रे सिकन सिलिकन सिलिकन क्यारेक्टन क्राइम ट्यूबर्स उच्च तापमान आपूर्ति उच्च तापमान आपूर्ति
मुख्य सुविधाहरू:
1 सिलिकन कार्बइड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कठोरता र निषेधित: कठोरता हीरा नजिक छ, र लामो समय को लागी वेफर प्रसंस्करणमा यांत्रिक पोशाक सामना गर्न सकिन्छ।
- उच्च थर्मल कम्युनिटी र कम थर्मल विस्तार गुणांक: द्रुत गर्मी असन्तुष्ट र आयामी स्थिरता, थर्मल तनावले ग्रस्त विज्ञलाई वेवास्ता गर्दै।
- उच्च फ्लैट र सतह समतल: सतह सपाट माइकन स्तरमा निर्भर गर्दछ, वेफर र डिस्क बीच पूर्ण सम्पर्क सुनिश्चित गर्ने, दूषित र क्षति कम गर्दछ।
रासायनिक स्थिरता: पराल तनावको प्रतिरोध, अर्धोन्डरकय निर्माणमा भिजेको सफाई र जांच प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त।
2 सिलिकन कार्बर्ड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान प्रतिरोध: यसले लामो समयसम्म 1 1600 डिग्री सेल्सियस माथिको उच्च तापमान वातावरणमा काम गर्न सक्दछ, अर्धन्डुन्डुनिक उच्च तापमान तापमान प्रक्रियाको लागि उपयुक्त।
उत्कृष्ट कर्बलोशन प्रतिरोध: एसिड, क्षारीय र विभिन्न प्रकारका रासायनिक प्रबलताका लागि प्रतिरोधी, कठोर प्रक्रिया वातावरणका लागि उपयुक्त।
- उच्च कठोरता र प्रतिरोध लगाउँदछ: कण क्षारीय क्षतिको प्रतिरोध गर्नुहोस् र मेकानिकल लगाउने, सेवा जीवन प्रदान गर्दछ।
- थर्मयल संकुचित र क्र्मल विस्तारको उच्च गुणांक: गर्मी र आयामी स्थिरता को सञ्चालन, विकृति कम गर्न वा क्र्याकल तनाव को कारण।
उत्पाद प्यारामिटर:
सिलिकन कार्बइड सिरेमिक ट्रे प्यारामिटर:
| (सामग्री सम्पत्ती) | (एकाई) | (SSIC) | |
| (SIC सामग्री) | (WT)% | > 999 | |
| (औसत अनाज आकार) | लासड | -10-10 | |
| (घनत्व) | KG / DM3 | >.14 | |
| (स्पष्ट ग्रस्टित्व) | Vo1% | <0.5 | |
| (विक्रेता कडाई) | HV 0.5 | गेपी | 28 |
| * () फ्लेक्सोली शक्ति * (तीन पोइन्टहरू) | 20 बर्षा | एकौ बोल्नु | 450500 |
| (कम्प्रेभिजन शक्ति) | 20 बर्षा | एकौ बोल्नु | 39 00 |
| (लोचक मोडेलस) | 20 बर्षा | गेपी | 2020 |
| (फ्र्याक्चर कठोरता) | MPA / M '% | .5 ..5 | |
| (थर्मल संकुचित) | 20 ° ºc | W / (m * k) | प्रस्ताव |
| (प्रतिरोधीता) | 20 ° ºc | Ohm.cm | 106-108 |
(थर्मल विस्तार गुणांक) | A (RT ** ... 80ºC) | K-1 * 10--6 | 13.3 |
(अधिकतम अपरेटिंग तापमान) | oºC | 10000 | |
सिलिकन कार्बइड सिरेमिक ट्यूब प्यारामिटर:
| वस्तुहरू | सुची |
| α- sic | 99% मिनेट |
| स्पष्ट ग्रस्टित्व | 1 %% अधिकतम |
| बुल्क घनत्व | 2.7GG / CM3 मिनेट |
| उच्च तापमानमा झुकाव | 100 MPA मिनेट |
| थर्मल विस्तार को गुणांक | K-1.7x10 -6 |
| थर्मल सवारी साधन (10000ºC) को गुणांक | 2 w w / MK |
| अधिकतम काम गर्ने तापमान | 16500ºC |
मुख्य अनुप्रयोगहरू:
1 सिलिकन कार्बरोड सिरेमिक प्लेट
- वेर काट्ने र पॉलिशिंग: काट्ने र पॉलिशिंगको अवधिमा उच्च शुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न एक असर प्लेटफर्मको रूपमा कार्य गर्दछ।
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: वेफर लिथोग्राफी मेसिनमा तय गरिएको छ एक्सपोजरको बखत उच्च सटीक स्थिति सुनिश्चित गर्न।
- रासायनिक मेकानिकल पीलिशिंग (CPP): कार्यको लागि समर्थन प्लेटफर्मको रूपमा कार्य गर्दछ, एक समान दबाब र तातो वितरण प्रदान गर्दछ।
2 सिलिकन कार्बर्ड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापक्रम भण्डार ट्यूब: उच्च तापमान प्रशोधन कार्यको लागि वेफर गर्न अस्टलप्शन भण्डारहरू र अक्डिडेशन भट्टीबन्दी र अक्डिडेशन भट्टी भाषा र अक्सिडिटेनशक्तिहरू भट्टी बोक्न प्रयोग गरियो।
- CVD / PVD प्रक्रिया: प्रतिक्रिया कोठामा एक असर ट्यूबको रूपमा, उच्च तापमान र क्षतिविहीन ग्याँसको प्रतिरोधी।
- अर्धन्डुनिक उपकरण सामानहरू: गर्मी एक्सचेन्ज, ग्यास पाइपलाइनहरू, आदिको लागि, थर्मल व्यवस्थापन क्षमताको लागि सुधार गर्न।
XKH ले सिलिकन कार्बइड सिरमिक प्यारामिक ट्रेहरू, सञ्चार कप र सिलिकन कार्बइड सेरेल टेलहरूको लागि अनुकूलन सेवाहरूको पूर्ण दायरा प्रदान गर्दछ। सिलिकन कार्बइड सिरेमिक ट्रेहरू र सञ्चालन कचौराहरू, Xkh विभिन्न आकार, आकार र सतह उपचारका लागि ग्राहक आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ, र प्रतिरोधको प्रतिरोधको प्रतिरोध र प्रतिरोधको प्रतिरोध। सिलिकन कार्बइड सेरेमिक ट्यूबहरूको लागि, XKH ले विभिन्न भित्री व्यास, बाहिरी ट्यूब वा पर्सिएसन ट्यूब (जस्तै आकारको ट्यूब (जस्तै आकारको ट्यूब) लाई अनुकूलित गर्न सक्दछ। XKH ले सुनिश्चित गर्दछ कि यदि सेईमिक र फोटोभिटल क्षेत्रहरू जस्ता उच्च-अन्त उत्पादन क्षेत्रको मागको आवश्यकता पूरा गर्न ग्राहकहरूले पूर्ण फाइदा लिन सक्दछन्।
विस्तृत आरेख
