सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे सकर सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब आपूर्ति उच्च तापमान सिन्टरिङ अनुकूलन प्रशोधन
मुख्य विशेषताहरू:
१. सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोध: कठोरता हीराको नजिक छ, र लामो समयसम्म वेफर प्रशोधनमा मेकानिकल पहिरन सहन सक्छ।
- उच्च तापीय चालकता र कम तापीय विस्तार गुणांक: द्रुत ताप अपव्यय र आयामी स्थिरता, थर्मल तनावको कारणले हुने विकृतिबाट बच्न।
- उच्च समतलता र सतह समाप्त: सतह समतलता माइक्रोन स्तर सम्म छ, वेफर र डिस्क बीच पूर्ण सम्पर्क सुनिश्चित गर्दै, प्रदूषण र क्षति कम गर्दछ।
रासायनिक स्थिरता: बलियो जंग प्रतिरोध, अर्धचालक निर्माणमा भिजेको सफाई र नक्काशी प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त।
२. सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापक्रम प्रतिरोध: यसले १६०० डिग्री सेल्सियसभन्दा माथिको उच्च तापक्रम वातावरणमा लामो समयसम्म काम गर्न सक्छ, अर्धचालक उच्च तापक्रम प्रक्रियाको लागि उपयुक्त।
उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार र विभिन्न रासायनिक विलायकहरूको प्रतिरोधी, कठोर प्रक्रिया वातावरणको लागि उपयुक्त।
- उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोध: कण क्षरण र मेकानिकल पहिरनको प्रतिरोध गर्नुहोस्, सेवा जीवन विस्तार गर्नुहोस्।
- उच्च तापीय चालकता र थर्मल विस्तारको कम गुणांक: तापको द्रुत चालन र आयामी स्थिरता, थर्मल तनावको कारणले हुने विकृति वा क्र्याकिंग कम गर्दछ।
उत्पादन प्यारामिटर:
सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे प्यारामिटर:
(भौतिक सम्पत्ति) | (एकाइ) | (ssic) | |
(SiC सामग्री) | (वायु)% | >९९ | |
(औसत अन्नको आकार) | माइक्रोन | ४-१० | |
(घनत्व) | किलोग्राम/डेसिमिटर३ | >३.१४ | |
(स्पष्ट छिद्र) | भो १% | <०.५ | |
(विकर्स कठोरता) | एचभी ०.५ | जीपीए | 28 |
*() लचकदार शक्ति* (तीन अंक) | २० डिग्री सेल्सियस | MPa | ४५० |
(कम्प्रेसिभ शक्ति) | २० डिग्री सेल्सियस | MPa | ३९०० |
(इलास्टिक मोड्युलस) | २० डिग्री सेल्सियस | जीपीए | ४२० |
(फ्र्याक्चर कठोरता) | MPa/m'% | ३.५ | |
(तापीय चालकता) | २०°से.मि. | प/(मि*के) | १६० |
(प्रतिरोधात्मकता) | २०°से.मि. | ओम.सेमी | १०६-१०८ |
(थर्मल एक्सपेन्सन कोफिसिएन्ट) | a(RT**...८०ºC) | K-१*१०-६ | ४.३ |
(अधिकतम सञ्चालन तापमान) | तापमान | १७०० |
सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब प्यारामिटर:
वस्तुहरू | अनुक्रमणिका |
α-SIC | ९९% न्यूनतम |
स्पष्ट छिद्रता | अधिकतम १६% |
थोक घनत्व | २.७ ग्राम/सेमी३ मिनेट |
उच्च तापक्रममा झुकाउने शक्ति | १०० एमपीए मिनेट |
थर्मल विस्तारको गुणांक | K-१ ४.७x१० -६ |
थर्मल चालकताको गुणांक (१४००ºC) | २४ वाट/म्याके |
अधिकतम काम गर्ने तापक्रम | १६५० डिग्री सेल्सियस |
मुख्य अनुप्रयोगहरू:
१. सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक प्लेट
- वेफर काट्ने र पालिस गर्ने: काट्ने र पालिस गर्ने क्रममा उच्च परिशुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न बेयरिङ प्लेटफर्मको रूपमा काम गर्दछ।
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: एक्सपोजरको समयमा उच्च परिशुद्धता स्थिति सुनिश्चित गर्न वेफरलाई लिथोग्राफी मेसिनमा फिक्स गरिएको हुन्छ।
- केमिकल मेकानिकल पालिसिङ (CMP): प्याडहरू पालिस गर्नको लागि समर्थन प्लेटफर्मको रूपमा काम गर्दछ, जसले एकरूप दबाब र ताप वितरण प्रदान गर्दछ।
२. सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापक्रम भट्टी ट्यूब: उच्च तापक्रम प्रक्रिया उपचारको लागि वेफरहरू बोक्न प्रसार भट्टी र अक्सिडेशन भट्टी जस्ता उच्च तापक्रम उपकरणहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ।
- CVD/PVD प्रक्रिया: प्रतिक्रिया कक्षमा बेयरिङ ट्यूबको रूपमा, उच्च तापक्रम र संक्षारक ग्याँसहरूको प्रतिरोधी।
- अर्धचालक उपकरणका सामानहरू: ताप एक्सचेन्जरहरू, ग्यास पाइपलाइनहरू, आदिका लागि, उपकरणहरूको थर्मल व्यवस्थापन दक्षता सुधार गर्न।
XKH ले सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे, सक्सन कप र सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबहरूको लागि पूर्ण दायरा अनुकूलन सेवाहरू प्रदान गर्दछ। सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे र सक्सन कपहरू, XKH लाई विभिन्न आकार, आकार र सतहको खुरदरापनको ग्राहक आवश्यकताहरू अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ, र विशेष कोटिंग उपचारलाई समर्थन गर्दछ, पहिरन प्रतिरोध र जंग प्रतिरोध बढाउँछ; सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबहरूको लागि, XKH ले विभिन्न भित्री व्यास, बाहिरी व्यास, लम्बाइ र जटिल संरचना (जस्तै आकारको ट्यूब वा छिद्रपूर्ण ट्यूब) अनुकूलित गर्न सक्छ, र पालिसिङ, एन्टी-अक्सिडेशन कोटिंग र अन्य सतह उपचार प्रक्रियाहरू प्रदान गर्दछ। XKH ले सुनिश्चित गर्दछ कि ग्राहकहरूले अर्धचालक, एलईडी र फोटोभोल्टाइक्स जस्ता उच्च-अन्त उत्पादन क्षेत्रहरूको माग आवश्यकताहरू पूरा गर्न सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादनहरूको प्रदर्शन लाभहरूको पूर्ण लाभ लिन सक्छन्।
विस्तृत रेखाचित्र



