सिलिकन कार्बाइड हीरा तार काट्ने मेसिन ४/६/८/१२ इन्च SiC इन्गट प्रशोधन
काम गर्ने सिद्धान्त:
१. इन्गट फिक्सेसन: स्थिति शुद्धता (±०.०२ मिमी) सुनिश्चित गर्न फिक्स्चर मार्फत काट्ने प्लेटफर्ममा SiC इन्गट (४H/६H-SiC) फिक्स गरिएको छ।
२. हीरा रेखा आन्दोलन: हीरा रेखा (सतहमा इलेक्ट्रोप्लेटेड हीरा कणहरू) उच्च-गति परिसंचरणको लागि गाइड व्हील प्रणालीद्वारा संचालित हुन्छ (रेखा गति १० ~ ३० मिटर/सेकेन्ड)।
३. काट्ने दाना: इन्गटलाई निर्धारित दिशामा खुवाइन्छ, र हीराको रेखालाई धेरै समानान्तर रेखाहरू (१०० ~ ५०० रेखाहरू) सँग एकैसाथ काटिन्छ जसले गर्दा धेरै वेफरहरू बन्छन्।
४. चिसो पार्ने र चिप हटाउने: तातो क्षति कम गर्न र चिपहरू हटाउन काट्ने क्षेत्रमा शीतलक (डिआयोनाइज्ड पानी + एडिटिभहरू) स्प्रे गर्नुहोस्।
मुख्य प्यारामिटरहरू:
१. काट्ने गति: ०.२~१.० मिमी/मिनेट (SiC को क्रिस्टल दिशा र मोटाईमा निर्भर गर्दै)।
२. लाइन टेन्सन: २०~५०N (धेरै उच्चले लाइन तोड्न सजिलो, धेरै कमले काट्ने शुद्धतालाई असर गर्छ)।
३. वेफर मोटाई: मानक ३५०~५००μm, वेफर १००μm पुग्न सक्छ।
मुख्य विशेषताहरू:
(१) काट्ने शुद्धता
मोटाई सहनशीलता: ±५μm (@३५०μm वेफर), परम्परागत मोर्टार काट्ने भन्दा राम्रो (±२०μm)।
सतहको खस्रोपन: Ra<0.5μm (पछिल्लो प्रशोधनको मात्रा घटाउन थप ग्राइन्डिङ आवश्यक पर्दैन)।
वारपेज: <१०μm (पछिल्लो पालिस गर्ने कठिनाई कम गर्नुहोस्)।
(२) प्रशोधन दक्षता
बहु-लाइन काट्ने: एक पटकमा १०० ~ ५०० टुक्रा काट्ने, उत्पादन क्षमता ३ ~ ५ गुणा बढाउने (एकल लाइन काट्ने तुलनामा)।
रेखा जीवन: हीरा रेखाले १०० ~ ३०० किलोमिटर SiC काट्न सक्छ (इङ्गट कठोरता र प्रक्रिया अनुकूलनमा निर्भर गर्दै)।
(३) कम क्षति प्रशोधन
किनारा फुट्ने: <१५μm (परम्परागत काट्ने >५०μm), वेफरको उपजमा सुधार।
सतहको क्षति तह: <५μm (पालिसिङ हटाउने काम कम गर्नुहोस्)।
(४) वातावरण संरक्षण र अर्थतन्त्र
मोर्टार प्रदूषण छैन: मोर्टार काट्ने तुलनामा फोहोर तरल पदार्थ विसर्जन लागत कम भयो।
सामग्रीको उपयोग: काट्ने घाटा <१००μm/ कटर, SiC कच्चा पदार्थ बचत गर्दै।
काट्ने प्रभाव:
१. वेफर गुणस्तर: सतहमा कुनै म्याक्रोस्कोपिक दरार छैन, केही सूक्ष्म दोषहरू (नियन्त्रणयोग्य विस्थापन विस्तार)। प्रक्रिया प्रवाह छोटो पार्दै, सिधै रफ पालिसिङ लिङ्कमा प्रवेश गर्न सक्छ।
२. स्थिरता: ब्याचमा वेफरको मोटाई विचलन <±३% छ, स्वचालित उत्पादनको लागि उपयुक्त।
३.प्रयोगयोग्यता: ४H/६H-SiC इन्गट काट्ने समर्थन, प्रवाहकीय/अर्ध-इन्सुलेटेड प्रकारसँग उपयुक्त।
प्राविधिक विशिष्टता:
| निर्दिष्टीकरण | विवरणहरू |
| आयामहरू (L × W × H) | २५००x२३००x२५०० वा अनुकूलित गर्नुहोस् |
| प्रशोधन सामग्री आकार दायरा | ४, ६, ८, १०, १२ इन्च सिलिकन कार्बाइड |
| सतहको खुरदरापन | रैथाने≤०.३u |
| औसत काट्ने गति | ०.३ मिमी/मिनेट |
| तौल | ५.५ टन |
| काट्ने प्रक्रिया सेटिङ चरणहरू | ≤३० चरणहरू |
| उपकरणको आवाज | ≤८० डेसिबल |
| स्टील तारको तनाव | ०~११०N(०.२५ तारको तनाव ४५N छ) |
| स्टील तार गति | ०~३० मिटर/सेकेन्ड |
| कुल पावर | ५० किलोवाट |
| हीरा तार व्यास | ≥०.१८ मिमी |
| समतलता अन्त्य गर्नुहोस् | ≤०.०५ मिमी |
| काट्ने र तोड्ने दर | ≤१% (मानव कारणहरू बाहेक, सिलिकन सामग्री, लाइन, मर्मतसम्भार र अन्य कारणहरू) |
XKH सेवाहरू:
XKH ले सिलिकन कार्बाइड हीरा तार काट्ने मेसिनको सम्पूर्ण प्रक्रिया सेवा प्रदान गर्दछ, जसमा उपकरण चयन (तार व्यास/तार गति मिलान), प्रक्रिया विकास (काट्ने प्यारामिटर अप्टिमाइजेसन), उपभोग्य वस्तुहरूको आपूर्ति (हीरा तार, गाइड ह्वील) र बिक्री पछिको समर्थन (उपकरण मर्मत, काट्ने गुणस्तर विश्लेषण) समावेश छ। यसले ग्राहकहरूलाई उच्च उपज (>९५%), कम लागतको SiC वेफर मास उत्पादन प्राप्त गर्न मद्दत गर्दछ। यसले ४-८ हप्ताको नेतृत्व समयको साथ अनुकूलित अपग्रेडहरू (जस्तै अल्ट्रा-थिन काट्ने, स्वचालित लोडिङ र अनलोडिङ) पनि प्रदान गर्दछ।
विस्तृत रेखाचित्र
