अल्ट्रा-प्रिसिजन SiC एयर-बेयरिङ स्टेज

छोटो वर्णन:

अर्धचालक उद्योगको निरन्तर विकाससँगै, प्रशोधन र निरीक्षण उपकरणहरूले उच्च प्रदर्शनको माग गर्दछ। गति नियन्त्रण र न्यानोमिटर-स्तर स्थितिमा व्यापक विशेषज्ञताको आधारमा, हामीले समतल H-प्रकारको दोहोरो-अक्ष अल्ट्रा-प्रिसिजन एयर-बेयरिङ स्टेज विकास गरेका छौं।

हामीलाई इमेल पठाउनुहोस्

विशेषताहरू

विस्तृत रेखाचित्र

अवलोकन

सीमित-तत्व-अनुकूलित सिलिकन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक संरचना र क्षतिपूर्ति वायु-असर प्रविधिको साथ ईन्जिनियर गरिएको, यो स्टेजले उत्कृष्ट शुद्धता, कठोरता, र गतिशील प्रतिक्रिया प्रदान गर्दछ। यो आदर्श रूपमा निम्नका लागि उपयुक्त छ:

अर्धचालक प्रशोधन र निरीक्षण
सूक्ष्म/न्यानो निर्माण र मापन विज्ञान
न्यानोमिटर-स्केल फ्लाई-काट्ने र पालिस गर्ने
उच्च-गतिको परिशुद्धता स्क्यानिङ

प्रमुख विशेषताहरू

SiC एयर-बेयरिङ गाइडवेअति उच्च कठोरता र परिशुद्धताको लागि
उच्च गतिशीलता: १ मिटर/सेकेन्ड सम्मको वेग, ४ ग्राम सम्मको त्वरण, द्रुत स्थिरीकरण
दोहोरो-ड्राइभ ग्यान्ट्री Y-अक्षउच्च भार क्षमता र स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ
एन्कोडर विकल्पहरू: अप्टिकल ग्रेटिंग वा लेजर इन्टरफेरोमिटर
स्थिति निर्धारण शुद्धता: ±०.१५ माइक्रोमिटर;दोहोरिने क्षमता: ±७५ एनएम
अनुकूलित केबल राउटिङसफा डिजाइन र दीर्घकालीन विश्वसनीयताको लागि
अनुकूलन योग्य कन्फिगरेसनहरूअनुप्रयोग-विशिष्ट आवश्यकताहरूको लागि

अल्ट्रा-प्रिसिजन डिजाइन र प्रत्यक्ष-ड्राइभ, सम्पर्कविहीन वास्तुकला

SiC सिरेमिक फ्रेम: ~५× एल्युमिनियम मिश्र धातुको कठोरता र ~५× कम थर्मल विस्तार, उच्च-गति स्थिरता र थर्मल बलियोपन सुनिश्चित गर्दै।
क्षतिपूर्ति प्राप्त एयर-बेयरिङ: स्वामित्व डिजाइनले कठोरता, भार क्षमता, र गति स्थिरता बढाउँछ।
गतिशील प्रदर्शन: १ मिटर/सेकेन्ड वेग र ४ ग्राम त्वरण समर्थन गर्दछ, उच्च-थ्रुपुट प्रक्रियाहरूको लागि आदर्श।
निर्बाध एकीकरण: कम्पन आइसोलेसन प्रणाली, रोटरी स्टेज, टिल्ट मोड्युल र वेफर ह्यान्डलिङ प्लेटफर्महरूसँग उपयुक्त।
केबल व्यवस्थापन: नियन्त्रित झुकाउने त्रिज्याले विस्तारित सेवा जीवनको लागि तनाव कम गर्छ।

कोरलेस रेखीय मोटर: शून्य कोगिङ बलको साथ सहज गति।
बहु-मोटर ड्राइभ: लोड-प्लेन मोटर प्लेसमेन्टले सीधापन, समतलता, र कोणीय परिशुद्धता सुधार गर्छ।
थर्मल आइसोलेसन: मोटरहरूलाई स्टेज संरचनाबाट अलग गरिएको छ; उच्च-कर्तव्य चक्रहरूको लागि वैकल्पिक हावा वा पानी शीतलन।

निर्दिष्टीकरणहरू

मोडेल	४००-४००	५००-५००	६००-६००
अक्षहरू	X (स्क्यान) / Y (चरण)	X (स्क्यान) / Y (चरण)	X (स्क्यान) / Y (चरण)
यात्रा (मिमी)	४००/४००	५००/५००	६००/६००
शुद्धता (μm)	±०.१५	±०.२	±०.२
दोहोरिने क्षमता (nm)	±७५	±१००	±१००
रिजोल्युसन (nm)	०.३	०.३	०.३
अधिकतम गति (मिलिमिटर)	1	1	1
गतिवर्धन (छ)	4	4	4
सीधापन (μm)	±०.२	±०.३	±०.४
स्थिरता (nm)	±५	±५	±५
अधिकतम भार (किलोग्राम)	20	20	20
पिच/रोल/याव (चाप-सेकेन्ड)	±१	±१	±१

परीक्षण सर्तहरू:

हावा आपूर्ति: सफा, सुख्खा; शीत बिन्दु ≤ ०°F; कण निस्पंदन ≤ ०.२५ μm; वा ९९.९९% नाइट्रोजन।
२०±१ °C, ४०–६०% RH मा स्टेज सेन्टर माथि २५ मिमी मापन गरिएको शुद्धता।

अनुप्रयोगहरू

अर्धचालक लिथोग्राफी, निरीक्षण, र वेफर ह्यान्डलिङ
सूक्ष्म/न्यानो निर्माण र सटीक मापन विज्ञान
उच्च-अन्त अप्टिक्स निर्माण र इन्टरफेरोमेट्री
एयरोस्पेस र उन्नत वैज्ञानिक अनुसन्धान

FAQ – सिलिकन कार्बाइड एयर-बेयरिङ स्टेज

१. हावा बोक्ने अवस्था भनेको के हो?

हावा बहाली गर्ने मञ्चले मञ्च र गाइडवेको बीचमा दबाबयुक्त हावाको पातलो फिल्म प्रयोग गर्दछ जसले गर्दाघर्षणरहित, लगाउन-रहित, र अति-सहज गतिपरम्परागत मेकानिकल बियरिङहरू भन्दा फरक, यसले स्टिक-स्लिप हटाउँछ, न्यानोमिटर-स्तरको शुद्धता प्रदान गर्दछ, र दीर्घकालीन विश्वसनीयतालाई समर्थन गर्दछ।

२. स्टेज संरचनाको लागि सिलिकन कार्बाइड (SiC) किन प्रयोग गर्ने?

उच्च कठोरता: ~५× एल्युमिनियम मिश्र धातुको, गतिशील गतिको समयमा विकृति कम गर्दै।
कम थर्मल विस्तार: एल्युमिनियम भन्दा ~५× कम, तापक्रम भिन्नताहरूमा शुद्धता कायम राख्दै।
हल्का वजन: स्टीलको तुलनामा कम घनत्व, उच्च-गति र उच्च-त्वरण सञ्चालन सक्षम पार्दै।
उत्कृष्ट स्थिरता: अति-परिशुद्धता स्थितिको लागि सुपीरियर ड्याम्पिङ र कठोरता।

३. के स्टेजलाई स्नेहन वा मर्मत आवश्यक छ?

कुनै परम्परागत स्नेहन आवश्यक पर्दैन किनकि त्यहाँ छकुनै यान्त्रिक सम्पर्क छैनसिफारिस गरिएको मर्मतसम्भारमा समावेश छन्:

आपूर्ति गर्दैसफा, सुख्खा संकुचित हावा वा नाइट्रोजन
फिल्टर र ड्रायरहरूको आवधिक निरीक्षण
केबलहरू र शीतलन प्रणालीहरूको निगरानी गर्दै

४. हावा आपूर्तिको आवश्यकता के हो?

शीत बिन्दु: ≤ ० °F (≈ –१८ °C)
कण निस्पंदन: ≤ ०.२५ μm
सफा, सुख्खा हावा वा ९९.९९% शुद्ध नाइट्रोजन
न्यूनतम उतारचढावको साथ स्थिर दबाव

हाम्रो बारेमा

XKH ले विशेष अप्टिकल गिलास र नयाँ क्रिस्टल सामग्रीहरूको उच्च-प्रविधि विकास, उत्पादन र बिक्रीमा विशेषज्ञता राख्छ। हाम्रा उत्पादनहरूले अप्टिकल इलेक्ट्रोनिक्स, उपभोक्ता इलेक्ट्रोनिक्स र सैन्य सेवा प्रदान गर्दछ। हामी नीलमणि अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू, मोबाइल फोन लेन्स कभरहरू, सिरेमिक्स, LT, सिलिकन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज, र अर्धचालक क्रिस्टल वेफरहरू प्रदान गर्दछौं। कुशल विशेषज्ञता र अत्याधुनिक उपकरणहरूको साथ, हामी गैर-मानक उत्पादन प्रशोधनमा उत्कृष्ट छौं, एक अग्रणी अप्टोइलेक्ट्रोनिक सामग्री उच्च-प्रविधि उद्यम बन्ने लक्ष्य राख्दै।