4 इन्च 6 इन्च लिथियम niobate एकल क्रिस्टल फिल्म LNOI वेफर
LNOI सामग्रीको तयारी प्रक्रियालाई मुख्यतया निम्न चार चरणहरूमा विभाजन गरिएको छ
(१) ऊ आयनहरूलाई एक्स-कट लिथियम निओबेट सामग्रीमा एक निश्चित ऊर्जामा इन्जेक्ट गरियो, र लिथियम निओबेटको सतह तह मुनि एक निश्चित गहिराइमा दोष तहमा प्रस्तुत गरियो;
(२) आयन इम्प्लान्ट गरिएको लिथियम निओबेट सामग्री सिलिकन सब्सट्रेटमा अक्साइड तहको साथ बाँडिएको हुन्छ बन्डिङ संरचना बनाउनको लागि;
(३) He ion implantation द्वारा प्रस्तुत गरिएका दोषहरूलाई विकसित गर्न र क्र्याकहरू बनाउनको लागि बन्धन संरचनालाई एनेल गरिएको थियो। अन्तमा, लिथियम niobate अवशिष्ट लिथियम niobate स्लाइसहरू र LNOI वेफरहरू बनाउन दोष तहको साथ अलग गरिएको थियो।
LNOI वेफरको अनुप्रयोग र फाइदाहरू
1--लिथियम निओबेट पिजोइलेक्ट्रिक फिल्महरू (LNOI) मा उच्च पाइजोइलेक्ट्रिक गुणांक र डाइलेक्ट्रिक स्थिरता हुन्छ, जसले मेकानिकल ऊर्जालाई विद्युतीय ऊर्जामा वा विद्युतीय ऊर्जालाई यान्त्रिक ऊर्जामा रूपान्तरण गर्न सक्छ। त्यसकारण, यो सेन्सरको क्षेत्रमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै दबाब सेन्सरहरू, एक्सेलेरेशन सेन्सरहरू, तापमान सेन्सरहरू र यस्तै। थप रूपमा, लिथियम niobate piezoelectric फिल्म पनि ध्वनिक उपकरणहरू र कम्पन उपकरणहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, जस्तै piezoelectric सिरेमिक ट्रान्सड्यूसर जटिल piezoelectric सिरेमिक फिल्टर।
2-लिथियम niobate piezoelectric फिल्म को स्थिरता पनि यसको फाइदाहरु मध्ये एक हो। यसको क्रिस्टल संरचना स्थिरता र रासायनिक जडताको कारण, लिथियम niobate piezoelectric फिल्म उच्च तापमान, उच्च आर्द्रता, बलियो एसिड, बलियो क्षार र अन्य कठोर वातावरणमा काम गर्न सक्छ, राम्रो जंग प्रतिरोध र स्थायित्व संग।
3-लिथियम niobate piezoelectric फिल्म उत्कृष्ट प्रदर्शन र स्थिरता संग एक नयाँ piezoelectric सामाग्री हो, र एक व्यापक आवेदन संभावना छ। विज्ञान र प्रविधिको निरन्तर विकासको साथ, लिथियम niobate piezoelectric फिल्म धेरै शहरहरूमा लागू गरिनेछ, मानिसहरूको जीवनमा थप सुविधा र नवीनता ल्याउन।
विस्तृत रेखाचित्र
