4 इन्च 6 इन्च लिथियम niobate एकल क्रिस्टल फिल्म LNOI वेफर
LNOI सामग्रीको तयारी प्रक्रियालाई मुख्यतया निम्न चार चरणहरूमा विभाजन गरिएको छ
(१) ऊ आयनहरूलाई एक्स-कट लिथियम निओबेट सामग्रीमा एक निश्चित ऊर्जामा इन्जेक्ट गरियो, र लिथियम निओबेटको सतह तह मुनि एक निश्चित गहिराइमा दोष तहमा प्रस्तुत गरियो;
(२) आयन इम्प्लान्ट गरिएको लिथियम निओबेट सामग्री सिलिकन सब्सट्रेटमा अक्साइड तहको साथ बाँडिएको हुन्छ बन्डिङ संरचना बनाउनको लागि;
(३) He ion implantation द्वारा प्रस्तुत गरिएका दोषहरूलाई विकसित गर्न र क्र्याकहरू बनाउनको लागि बन्धन संरचनालाई एनेल गरिएको थियो।अन्तमा, लिथियम niobate अवशिष्ट लिथियम niobate स्लाइसहरू र LNOI वेफरहरू बनाउन दोष तहको साथ अलग गरिएको थियो।
LNOI वेफरको अनुप्रयोग र फाइदाहरू
1--लिथियम निओबेट पिजोइलेक्ट्रिक फिल्महरू (LNOI) मा उच्च पाइजोइलेक्ट्रिक गुणांक र डाइलेक्ट्रिक स्थिरता हुन्छ, जसले मेकानिकल ऊर्जालाई विद्युतीय ऊर्जामा वा विद्युतीय ऊर्जालाई यान्त्रिक ऊर्जामा रूपान्तरण गर्न सक्छ।त्यसकारण, यो सेन्सरको क्षेत्रमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै दबाव सेन्सरहरू, एक्सेलेरेशन सेन्सरहरू, तापमान सेन्सरहरू र यस्तै।थप रूपमा, लिथियम niobate piezoelectric फिल्म पनि ध्वनिक उपकरणहरू र कम्पन उपकरणहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, जस्तै piezoelectric सिरेमिक ट्रान्सड्यूसर जटिल piezoelectric सिरेमिक फिल्टर।
2-लिथियम niobate piezoelectric फिल्म को स्थिरता पनि यसको फाइदाहरु मध्ये एक हो।यसको क्रिस्टल संरचना स्थिरता र रासायनिक जडताको कारण, लिथियम niobate piezoelectric फिल्म उच्च तापमान, उच्च आर्द्रता, बलियो एसिड, बलियो क्षार र अन्य कठोर वातावरणमा काम गर्न सक्छ, राम्रो जंग प्रतिरोध र स्थायित्व संग।
3-लिथियम niobate piezoelectric फिल्म उत्कृष्ट प्रदर्शन र स्थिरता संग एक नयाँ piezoelectric सामग्री हो, र एक व्यापक आवेदन संभावना छ।विज्ञान र प्रविधिको निरन्तर विकासको साथ, लिथियम niobate piezoelectric फिल्म धेरै शहरहरूमा लागू गरिनेछ, मानिसहरूको जीवनमा थप सुविधा र नवीनता ल्याउन।
विस्तृत रेखाचित्र
