100mm 4inch GaN on Sapphire Epi-layer Wafer Gallium nitride epitaxial wafer
GaN नीलो एलईडी क्वान्टम राम्रो संरचना को विकास प्रक्रिया।विस्तृत प्रक्रिया प्रवाह निम्नानुसार छ
(१) उच्च तापक्रम पकाउने, नीलमणि सब्सट्रेटलाई हाइड्रोजन वातावरणमा 1050 ℃ मा तताइएको छ, उद्देश्य सब्सट्रेट सतह सफा गर्नु हो;
(२) जब सब्सट्रेटको तापक्रम 510 ℃ मा घट्छ, 30nm को मोटाईको कम-तापमान GaN/AlN बफर तह नीलमणि सब्सट्रेटको सतहमा जम्मा हुन्छ;
(3) तापमान 10 ℃ मा वृद्धि, प्रतिक्रिया ग्याँस अमोनिया, trimethylgallium र silane क्रमशः सुई लगाइन्छ, संगत प्रवाह दर नियन्त्रण, र 4um मोटाई को सिलिकन-डोपेड N-प्रकार GaN हुर्काइन्छ;
(4) ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम र ट्राइमिथाइल ग्यालियमको प्रतिक्रिया ग्याँस सिलिकन-डोप गरिएको एन-टाइप A⒑ महाद्वीपहरू 0.15um को मोटाईको साथ तयार गर्न प्रयोग गरिएको थियो;
(5) 50nm Zn-doped InGaN क्रमशः 8O0 ℃ को तापक्रममा ट्राइमेथाइलगैलियम, ट्राइमेथिलिन्डियम, डाइथिलजिङ्क र अमोनिया इन्जेक्सन गरेर र विभिन्न प्रवाह दरहरू नियन्त्रण गरेर तयार गरिएको थियो।
(6) तापमान 1020 ℃ मा बढाइएको थियो, trimethylaluminum, trimethylgallium र bis (cyclopentadienyl) म्याग्नेसियम 0.15um Mg doped P-type AlGaN र 0.5um Mg डोपेड P-type G रगत ग्लुकोज तयार गर्न इन्जेक्ट गरिएको थियो;
(7) उच्च गुणस्तरको P-प्रकार GaN Sibuyan फिल्म 700℃ मा नाइट्रोजन वातावरणमा annealing द्वारा प्राप्त गरिएको थियो;
(8) N-प्रकार G स्टेसिस सतह प्रकट गर्न P-प्रकार G स्टेसिस सतहमा नक्काशी;
(9) p-GaNI सतहमा Ni/Au सम्पर्क प्लेटहरूको वाष्पीकरण, इलेक्ट्रोडहरू बनाउन ll-GaN सतहमा △/Al सम्पर्क प्लेटहरूको वाष्पीकरण।
निर्दिष्टीकरणहरू
| वस्तु | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
| आयामहरू | e 100 मिमी ± 0.1 मिमी | |
| मोटाई | 4.5±0.5 um अनुकूलित गर्न सकिन्छ | |
| अभिमुखीकरण | C-प्लेन(0001) ±0.5° | |
| चालन प्रकार | N-प्रकार (अनडप गरिएको) | N-प्रकार (Si-doped) |
| प्रतिरोधात्मकता(300K) | <0.5 Q・cm | <0.05 Q・cm |
| वाहक एकाग्रता | < 5x1017सेमी-3 | > 1x1018सेमी-3 |
| गतिशीलता | ~ 300 सेमी2/वि | ~ 200 सेमी2/वि |
| विस्थापन घनत्व | 5x10 भन्दा कम8सेमी-2(XRD को FWHMs द्वारा गणना गरिएको) | |
| सब्सट्रेट संरचना | नीलमणिमा GaN (मानक: एसएसपी विकल्प: डीएसपी) | |
| प्रयोगयोग्य सतह क्षेत्र | > ९०% | |
| प्याकेज | नाइट्रोजन वातावरण अन्तर्गत, 25pcs वा एकल वेफर कन्टेनरहरूको क्यासेटहरूमा, कक्षा 100 सफा कोठाको वातावरणमा प्याकेज गरिएको। | |
विस्तृत रेखाचित्र
