शीर्षक: चिप निर्माणमा FOUP भनेको के हो?​​

सामग्रीको तालिका

१. FOUP को सिंहावलोकन र मुख्य कार्यहरू

२. FOUP को संरचना र डिजाइन सुविधाहरू

३. FOUP को वर्गीकरण र आवेदन दिशानिर्देशहरू

४. अर्धचालक निर्माणमा FOUP को सञ्चालन र महत्व

५. प्राविधिक चुनौतीहरू र भविष्यको विकास प्रवृत्तिहरू

६.XKH को अनुकूलित समाधान र सेवा समर्थन

अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, फ्रन्ट ओपनिङ युनिफाइड पोड (FOUP) वेफरहरूको सुरक्षा, ढुवानी र भण्डारणको लागि प्रयोग गरिने एक महत्वपूर्ण कन्टेनर हो। यसको भित्री भागमा ३०० मिमी वेफरका २५ टुक्राहरू समायोजन गर्न सकिन्छ, र यसको मुख्य घटकहरूमा अगाडि-खोल्ने कन्टेनर र खोल्न र बन्द गर्नको लागि समर्पित ढोका फ्रेम समावेश छ। FOUP १२ इन्च वेफर फ्याबहरू भित्र स्वचालित यातायात प्रणालीमा एक मुख्य वाहक हो। यो सामान्यतया बन्द अवस्थामा ढुवानी गरिन्छ र उपकरण लोड पोर्टमा धकेल्दा मात्र खुल्छ, जसले वेफरहरूलाई उपकरणको लोडिङ/अनलोडिङ पोर्टमा स्थानान्तरण गर्न अनुमति दिन्छ।

FOUP को डिजाइन सूक्ष्म-वातावरण आवश्यकताहरू अनुरूप छ। यसमा वेफर सम्मिलनको लागि पछाडि स्लटहरू छन्, र ढक्कन विशेष रूपमा ओपनरको क्ल्याम्पसँग मिलाउन डिजाइन गरिएको छ। वेफर-ह्यान्डलिंग रोबोटहरू कक्षा १ सफा हावा वातावरणमा सञ्चालन हुन्छन्, जसले गर्दा प्रसारणको समयमा वेफरहरू दूषित हुँदैनन् भन्ने कुरा सुनिश्चित हुन्छ। यसबाहेक, FOUP लाई स्वचालित सामग्री ह्यान्डलिंग प्रणाली (AMHS) मार्फत प्रक्रिया उपकरणहरू बीच सारिन्छ। आधुनिक वेफर फ्याबहरूले प्रायः यातायातको लागि ओभरहेड रेल प्रणालीहरू प्रयोग गर्छन्, जबकि केही पुराना फ्याबहरूले जमिन-आधारित स्वचालित निर्देशित सवारी साधनहरू (AGVs) प्रयोग गर्न सक्छन्।

FOUP ले स्वचालित वेफर स्थानान्तरणलाई मात्र सक्षम पार्दैन तर भण्डारण कार्य पनि गर्दछ। असंख्य उत्पादन चरणहरूको कारणले गर्दा, वेफरहरूलाई सम्पूर्ण प्रक्रिया प्रवाह पूरा गर्न महिनौं लाग्न सक्छ। उच्च मासिक उत्पादन मात्रासँग मिलाएर, यसको अर्थ फ्याब भित्रका दशौं हजार वेफरहरू कुनै पनि समयमा निरन्तर ट्रान्जिट वा अस्थायी भण्डारणमा हुन्छन्। भण्डारणको क्रममा, FOUP हरूलाई वेफरहरूसँग सम्पर्क गर्नबाट रोक्नको लागि समय-समयमा नाइट्रोजनले शुद्ध गरिन्छ, जसले गर्दा सफा र भरपर्दो उत्पादन प्रक्रिया सुनिश्चित हुन्छ।

१. FOUP को कार्य र महत्व

FOUP को मुख्य कार्य वेफरहरूलाई बाह्य झटका र प्रदूषणबाट जोगाउनु हो, विशेष गरी स्थानान्तरणको समयमा उत्पादनमा पर्ने प्रभावबाट बच्नु हो। यसले ग्यास शुद्धीकरण र स्थानीय वायुमण्डल नियन्त्रण (LAC) जस्ता विधिहरू मार्फत ओसलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्छ, जसले गर्दा अर्को उत्पादन चरणको प्रतीक्षा गर्दा वेफरहरू सुरक्षित अवस्थामा रहन्छन् भन्ने कुरा सुनिश्चित हुन्छ। यसको सिल गरिएको र नियन्त्रित प्रणालीले आवश्यक यौगिकहरू र तत्वहरूलाई मात्र प्रवेश गर्न अनुमति दिन्छ, जसले वेफरहरूमा VOCs, अक्सिजन र ओसिलोपनको प्रतिकूल प्रभावलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्छ।

२५ वटा वेफरले पूर्ण रूपमा लोड गरिएको FOUP ९ किलोग्रामसम्म तौल हुन सक्ने भएकोले, यसको ढुवानी स्वचालित सामग्री ह्यान्डलिङ प्रणाली (AMHS) मा निर्भर हुनुपर्छ। यसलाई सहज बनाउन, FOUP कपलिंग प्लेटहरू, पिनहरू र प्वालहरूको विभिन्न संयोजनहरूसँग डिजाइन गरिएको छ, र सजिलो पहिचान र वर्गीकरणको लागि RFID इलेक्ट्रोनिक ट्यागहरूले सुसज्जित छ। यो स्वचालित ह्यान्डलिङलाई लगभग कुनै म्यानुअल अपरेशनको आवश्यकता पर्दैन, जसले गर्दा त्रुटि दरहरू धेरै कम हुन्छन् र निर्माण प्रक्रियाको सुरक्षा र शुद्धता बढ्छ।

२. FOUP को संरचना र वर्गीकरण

FOUP को विशिष्ट आयामहरू लगभग ४२० मिमी चौडाइ, ३३५ मिमी गहिराइ र ३३५ मिमी उचाइ हुन्छन्। यसको मुख्य संरचनात्मक घटकहरूमा समावेश छन्: ओभरहेड होइस्ट ट्रान्सपोर्टको लागि माथिल्लो OHT (मशरूम हेड); उपकरण वेफर पहुँचको लागि अगाडिको ढोका; साइड ह्यान्डलहरू, प्रायः फरक प्रदूषण स्तरहरू भएका प्रक्रिया क्षेत्रहरू छुट्याउन रङकोड गरिएको; सन्देश कार्डहरू राख्नको लागि कार्ड क्षेत्र; र तलको RFID ट्याग जसले FOUP को लागि अद्वितीय पहिचानकर्ताको रूपमा काम गर्दछ, जसले उपकरणहरू र ओभरहेड होइस्टहरूलाई यसलाई पहिचान गर्न अनुमति दिन्छ। आधार उपकरणहरूसँग मिलाउन र प्रक्रिया क्षेत्रहरू छुट्याउनको लागि चार पहिचान र स्थिति प्वालहरूले पनि सुसज्जित छ।

प्रयोगको आधारमा, FOUP हरूलाई तीन प्रकारमा वर्गीकृत गरिएको छ: PRD (उत्पादनको लागि), ENG (इन्जिनियरिङ वेफरहरूको लागि), र MON (मोनिटर वेफरहरूको लागि)। PRD FOUP हरू उत्पादन निर्माणको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ, ENG प्रकारहरू R&D वा प्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छन्, र MON प्रकारहरू CMP र DIFF जस्ता चरणहरूको लागि प्रक्रिया अनुगमन गर्न समर्पित छन्। यो ध्यान दिनु महत्त्वपूर्ण छ कि PRD FOUP हरू ENG र MON दुवै उद्देश्यका लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ, र ENG प्रकारहरू MON को लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ, तर उल्टो सञ्चालनले गुणस्तर जोखिमहरू निम्त्याउँछ।

प्रदूषण स्तर अनुसार वर्गीकृत, FOUP हरूलाई FE FOUP (फ्रन्ट-एन्ड प्रक्रिया, धातु-मुक्त), BE FOUP (ब्याक-एन्ड प्रक्रिया, धातु समावेश गर्दछ), र NI FOUP, CU FOUP, र CO FOUP जस्ता विशिष्ट धातु प्रक्रियाहरूको लागि विशेषज्ञता प्राप्तहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ। विभिन्न प्रक्रियाहरूको लागि FOUP हरू सामान्यतया साइड ह्यान्डलहरू वा ढोका प्यानलहरूको रंगद्वारा छुट्याइन्छ। फ्रन्ट-एन्ड प्रक्रियाहरूबाट FOUP हरू ब्याक-एन्ड प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, तर ब्याक-एन्ड FOUP हरू कहिल्यै फ्रन्ट-एन्ड प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गर्नु हुँदैन, किनकि यसले प्रदूषण जोखिम निम्त्याउँछ।

अर्धचालक निर्माणमा एक प्रमुख वाहकको रूपमा, FOUP ले उच्च स्वचालन र कडा प्रदूषण नियन्त्रण मार्फत उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा वेफरहरूको सुरक्षा र सफाई सुनिश्चित गर्दछ, जसले गर्दा यसलाई आधुनिक वेफर फ्याबहरूमा अपरिहार्य पूर्वाधार बनाउँछ।

निष्कर्ष

XKH ग्राहकहरूलाई उच्च अनुकूलित फ्रन्ट-ओपनिङ युनिफाइड पोड (FOUP) समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ, तपाईंको विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताहरू र उपकरण इन्टरफेस विशिष्टताहरूलाई कडाईका साथ पालना गर्दै। उन्नत सामग्री प्रविधि र सटीक उत्पादन प्रक्रियाहरूको लाभ उठाउँदै, हामी सुनिश्चित गर्छौं कि प्रत्येक FOUP उत्पादनले असाधारण वायुरोध, सफाई, र मेकानिकल स्थिरता प्रदान गर्दछ। हाम्रो प्राविधिक टोलीसँग गहिरो उद्योग विशेषज्ञता छ, जसले व्यापक जीवनचक्र समर्थन प्रदान गर्दछ - चयन परामर्श र संरचनात्मक अनुकूलनदेखि सफाई र मर्मतसम्भारसम्म - FOUP र तपाईंको स्वचालित सामग्री ह्यान्डलिंग प्रणाली (AMHS) साथै प्रशोधन उपकरणहरू बीच निर्बाध एकीकरण र कुशल सहकार्य सुनिश्चित गर्दै। हामी हाम्रो मुख्य उद्देश्यको रूपमा वेफरहरूको सुरक्षा र उत्पादन उपजको वृद्धिलाई निरन्तर प्राथमिकता दिन्छौं। नवीन उत्पादनहरू र सर्वसमावेशक प्राविधिक सेवाहरू मार्फत, हामी तपाईंको अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूको लागि बलियो ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछौं, अन्ततः उत्पादन दक्षता र उत्पादन उपज बढाउँछ।